中古 KLA / TENCOR SP1 #9000064 を販売中

KLA/TENCOR SP1は、今日の半導体メーカーの厳しい要件を満たすように設計された高性能の自動マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な光学設計、デジタル画像処理、高度な信号解析を利用して、マスクとウェーハの両方の表面の欠陥を検出します。KLA SP1は、最大25mm x 25mmまでのマスクと基板を、0.05µmサイズの精度で検査します。多波長LED照明を採用し、各検査点で斜めの角度が可変し、視野全体に均一な解像度を提供します。また、重要な欠陥の検出を可能にする高度な信号調整および信号解析機能も備えています。TENCOR SP 1は、両方のウェーハサーフェスの検査を可能にする高度なデュアルビュースキャニングマシンを内蔵しています。これに高度なフィルタリング技術と信号解析を組み合わせることで、最小の欠陥やマイクロピットを効率的に検出することができます。このツールは、直感的なグラフィカルメニューと使いやすいコントロールで、高度なユーザーインターフェイスを備えています。これにより、オペレータは検査設定を迅速に定義し、検査結果を追跡することができます。また、TENCOR SP1ではステータスレポートも強化され、オペレータはリアルタイムで資産ステータスを監視できます。SP 1は、高コントラストの画像検出と解析を行う高度なナノスケールイメージングモデルを使用しています。この統合技術は、他の検査システムで検出されない欠陥をキャプチャすることができます。この装置は、粒子汚染、粒子ダンプ、ライン欠陥、傷、およびその他の高コントラスト機能を検出することができます。システムには強力なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）が搭載されており、ユニット全体を優れた制御を提供し、機械を既存のネットワークやデータベースに統合して検査データの自動監視と収集を行うことができます。KLA/TENCOR SP 1は、歩留まりとコストを削減し、顧客に高品質の製品を提供し、競争力を維持することを目指す半導体メーカーにとって不可欠なツールです。