中古 KLA / TENCOR SP1 #87226 を販売中

KLA/TENCOR SP1は、高精度で自動化されたマスクおよびウェハ検査装置です。KLA SP1システムは、マスクおよびウェーハ表面に存在する欠陥を検出、分析、報告するように設計されています。最先端のビジョン技術と高度なパターンマッチングおよびイメージング技術を搭載し、高精度、再現性、信頼性の高い検査結果を保証します。クリティカルな欠陥検出、空間解析、画像アーカイブ、高度な欠陥分類など、包括的な一連の機能を提供します。TENCOR SP 1マシンは、UV照明やデュアル波長共焦点顕微鏡などの最先端の光検出技術を使用して、マスクやウェーハ表面の欠陥を正確に検出および分析します。このツールは、最大300nmの解像度で最大8つの画像フレームをキャプチャするように設計されています。このアセットには、6つのマルチスペクトル表示チャンネルを備えた高精細カメラも備えています。このモデルでは「、視覚的」（バンプ、ストライクスルー、ブリスタリングなどの表面レベルの欠陥）、「構造的」（ボイド、デラミネーションなどの地下欠陥）、「壊滅的」（大規模処理の異常を引き起こす）、「予測可能性のある欠陥」など、異なるタイプの欠陥を検査する4つの異なる欠陥モードを提供します。KLA SP 1には、欠陥サイズ、形状、位置など、さまざまな指標が含まれています。自動化された欠陥分類器を使用すると、機器はさまざまなタイプの欠陥を区別し、有効な（偽陽性でない）欠陥のみを報告することができます。これは、精度を向上させ、誤報を低減するのに役立ちます。最後に、KLA/TENCOR SP 1システムは高度なレポート機能をサポートします。このユニットは強力な分析を使用して、生産プロセスを改善するために使用できるグラフやその他の要約統計を生成します。レポートは特定のニーズに合わせてカスタマイズでき、製造メーカーは重要なプロセスのパフォーマンス指標を把握することができます。要約すると、SP1は包括的な機能を提供する高度なマスクおよびウェーハ検査機です。最先端の光学および欠陥分類技術を使用して、高精度、再現性、信頼性の高い欠陥検出、分析、レポートを可能にします。このツールは、製造プロセスの特定のニーズに合わせてカスタマイズでき、製造メーカーが業務に関する貴重な洞察を得るのに役立ちます。