中古 KLA / TENCOR SP1 #293805337 を販売中

KLA / TENCOR SP1
ID: 293805337
Inspection system.
KLA/TENCOR SP1は、品質管理と生産プロセスを支援するために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体業界で使用されているウェーハやマスクの高速イメージングと検査を特徴としています。この検査ユニットは、高解像度のカラーカメラ、レーザースキャン、高度なコンピュータビジョンアルゴリズムを使用して、マスクとウェーハの両方の欠陥と異常を検出します。KLA SP1マシンはモジュラーアーキテクチャで設計されており、さまざまな製造プロセスのニーズに合わせて容易にスケーリングできます。TENCOR SP 1には、スキャナーモジュールと検査モジュールという2つの主要コンポーネントが含まれています。スキャナーモジュールはウェーハとマスクの画像をキャプチャするために使用され、検査モジュールはレーザースキャンとコンピュータビジョンアルゴリズムを組み合わせて欠陥を特定します。このツールは、毎時120ウェーハまでのサンプルの高速スキャンが可能です。SP1アセットは、エッジ欠陥、パーティクルコンタミネーション、光導体欠陥など、さまざまな種類の欠陥を検出することができます。また、傷、ピット、バンプなどのさまざまな表面欠陥を識別することができます。さらに、スポット、線、曲線などの様々な光学的欠陥や、画像全体の欠陥を検出することができます。SP 1は、欠陥の検出に加えて、自動データロギング、欠陥分類とソート、結果のオンラインレポートなど、生産品質管理を支援する幅広い機能も提供しています。KLA/TENCOR SP 1は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、さまざまな業界標準のデータフォーマットと互換性があります。KLA SP 1装置は、容易な拡張性と信頼性の高い性能を提供する業界をリードするマスクおよびウェーハ検査システムです。モジュラーアーキテクチャにより、さまざまな生産ニーズに最適です。高解像度イメージングと高度な欠陥検出アルゴリズムにより、半導体業界の品質管理に最適です。TENCOR SP1マシンを使用すると、メーカーは製品が最高の基準を満たすことを保証できます。
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