中古 KLA / TENCOR SP1 #293628417 を販売中

KLA/TENCOR SP1は、大量の産業環境で機能するように設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA SP1は、スループットと歩留まりを最大化するために、高速イメージング、正確な制御、効率的な操作を特長としています。TENCOR SP 1は、KLAが特許を取得したIR Ergonomics™を中心に設計されており、ユーザーの統合、人間工学、およびアライメント機能を最大化するハードウェアとソフトウェアのシステムです。このユニットには、検査対象のマスクまたはウェーハを正確に配置するための自動XYステージと、強力なイメージングサブシステムが含まれています。イメージングサブシステムには、ウェーハまたはマスクの両側に1台のカメラがあります。4つのカメラは、低解像度から超高解像度まで、さまざまな倍率で画像をキャプチャします。4台のカメラの画像はすべて、機械の自動パターン認識ソフトウェアによってリアルタイムで比較されます。TENCOR SP1は高性能および反復性のために設計されています。このツールは交換可能な電気光学レンズアセットを備えており、異なる倍率を自動的に切り替えることができ、さまざまな検査を可能にします。さらに、KLA/TENCOR SP 1は、高度な光学マッピング技術を使用して正確なアライメントを保証します。これにより、軸外歪みを防ぎ、欠陥を確実に検出することができます。高速処理により、1時間あたり最大100個のウェーハを検査することができます。SP1は高度にカスタマイズ可能であり、既存の製造プロセスに容易に統合することができます。この装置は、半円、楕円形、ヘリカル、長方形パターン認識など、さまざまな検査ニーズに合わせて構成することができます。統合されたデータ分析ツールが含まれているため、生成された画像をすばやく解釈し、特定のプロセスに合わせてパラメーターをすばやく調整できます。KLA SP 1は、高度なリアルタイムイメージングと正確なパターン認識機能を備えたマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適なソリューションです。堅牢な設計と包括的な機能により、大量生産に最適です。