中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9375895 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、半導体業界におけるマスクフィルムやウェーハの回路パターンの欠陥を検出するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、自動化された再現可能なマスクおよびウェーハ検査用の高度なパターン認識ユニットで構成されています。KLA SP1T-BIは、複雑な回路パターンの非破壊検査を可能にする2つの独立した光学顕微鏡を備えています。この顕微鏡は、自動イメージング光学システムを使用して回路の高解像度画像をキャプチャし、パターン認識の強化されたマシンによって分析され、あらゆる欠陥を検出します。TENCOR SP1 TBIは、高解像度イメージング技術により、オープンショート、ブリッジ、ピンホール、穀物、およびさまざまなタイプのマスクエラーなどの欠陥を検出できます。また、欠陥タイプ、サイズ、位置、物理的特性に基づいた高度な欠陥解析およびソート機能も備えています。また、3次元で欠陥のサイズとプロファイルを正確に測定することもできます。このアセットには、ウェーハローディングとスキャンのための統合されたウェーハアライメントモデルも搭載されています。これにより、多数のマスクやウェーハを並列に検査することができます。また、複数のマスクを個々の部品に分離して分析することも可能です。KLA/TENCOR SP1 TBIは、迅速なセットアップとテスト実行、自動キャリブレーション、自動ルール調整、データロギング機能など、幅広い品質保証ツールも提供しています。また、オフラインとオンラインの両方のテストを実行することができ、実験室と生産環境の両方で使用することができます。また、低ノイズ動作で設計されており、高い信頼性を備えており、高スループット生産試験に適しています。TENCOR SP 1 TBIマスクおよびウェーハ検査ユニットは、マスクフィルムやウェーハの複雑な回路パターンの欠陥を検出するために設計された最先端の機械です。高解像度イメージング技術、高度な欠陥解析およびソート機能、統合されたウェーハアライメントツール、および幅広い品質保証ツールにより、この資産は実験室と生産環境の両方に適しています。