中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9362764 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBI （Surface Performance 1： Translating Beam Inspection）は、KLA株式会社が開発したマスク&ウエハ検査装置。半導体製造に使用されるマスクやウェハダイのパターン性能を検査するために設計されています。KLA SP1T-BIは、翻訳ビームイメージング装置を使用して、高精度のフルフィールド検査をリアルタイムで提供します。このシステムは、x-y-zスキャンステージと2レンズ光学ユニットで構成されており、検査中にマスクまたはウェーハの表面画像をキャプチャすることができます。オプティカルマシンはアクロマティックレンズを使用して構成され、上部レンズは高解像度の画像キャプチャを提供し、下側のレンズは広角の視野を維持します。このツールは、低コストのビデオ画像解析ハードウェアで動作し、高速検査とスキャン機能を提供します。TENCOR SP1 TBIには、高度な照明/検出器ハードウェアが装備されており、接触および非接触検査の両方を可能にします。これは、画像のキャプチャ、処理、分析のための平行ビーム認識とCCDカメラのためのプッシュブロムスキャンを使用しています。内蔵のHigh Dynamic Rangeイメージングにより、アセットはマスクまたはウェーハの表面上のほぼすべてのタイプのパターン変動を検出および測定し、データ豊富なパターンパフォーマンスレポートを生成できます。SP1T-BIはまた、オンサイト欠陥レビューをサポートし、強化されたパターン検査機能を提供します。光学文字認識（OCR）、レーザー画像処理（LIP）、モアレ、マイクロインスペクション、エッジ強化、コントラストイメージングなど、さまざまなイメージング技術を使用して検査することができます。また、KLA/TENCOR SP1 TBIは信頼性の高いモデルです。高度な検査アルゴリズムと複数の照明技術は、検査が完全かつ正確な結果を提供することを保証するのに役立ちます。また、安全なユーザーインターフェイスを提供し、専用センサーとロボティクスを組み合わせて安全なメンテナンスと操作を保証します。優れた性能と信頼性の高い機能を備えたKLA/TENCOR SP1T-BIは、マスクとウェーハの両方の検査およびプロセス開発に最適なツールです。これは、柔軟性、正確性、信頼性の高いデータ整合性を提供する強力なハイエンドシステムです。