中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9354265 を販売中
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ID: 9354265
ウェーハサイズ: 8"
Inspection systems, 8"
External flat panel display, 22"
SECS / HSMS Interface
Light tower
Histogram with zoom
(2) Hard Disk Drive (HDD) Handlers, 8"
(2) Sender stations: SMIF Inside load port
(2) Receiver stations: Open cassette
Dual arm vacuum handler robot
Robot arm puck
KEYENCE Ionizer bar
FFU With fault alarm function
ARGON Ion laser (30 mW): 488 nm
Computer
Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR SP1-TBIはマスクおよびウェーハの点検のための非常に洗練された、高度装置です。高速光学と2D画像処理技術を利用して、これらの材料の欠陥の有無を検出します。マスクおよびウェハ検査システムは、サンプルからサンプルまでの高速スキャン速度を提供し、部品を迅速かつ正確に検査することができます。マスク層とウェーハの両方の欠陥を高精度で検査することができます。2つの倍率のデュアルレンズオプティカルマシンを使用して詳細な解析を行います。このツールは、自動および手動の両方の画像取得および分析プロセスの機能を備えています。また、欠陥分類、欠陥サイズと位置測定、画像の自動アライメントなどのソフトウェア機能も備えています。このアセットは、基板のインライン検査のためのレビュースキャンを実行できます。その引き込み式イメージボードは、結果を自動または手動で比較するための柔軟性を提供します。また、高度なフォトメトリック解析を提供し、マスク層のパターンの緯度線と縦線の違いを検出することができます。また、サンプルをサブミクロン分解能で解析するための顕微鏡カメラを内蔵しています。KLA SP1T-BIは、高精度と再現性を提供する内蔵の画像キャプチャと処理機能を備えています。機器はまた、オーバーフローや不完全な画像を処理することができます。多数のデータフォーマットをサポートし、既存のITネットワークやシステムと統合できます。このシステムは、再現性、精度、完全性を提供することにより、マスクレイヤーとウェーハが最高品質であることを保証します。TENCOR SP1 TBIは、先進的な光学系、高精度分析機能、柔軟性を備え、マスクやウェーハの量産検査に最適なユニットです。
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