中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9351867 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、フロントエンド生産ライン用に設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。半導体部品の品質を確保するために、完全に自動化された非接触の2次元および3次元検査プロセスを提供します。このユニットは、高度な画像処理、ロボティクス、およびマテリアルハンドリング機能を1つのモジュラーパッケージに組み合わせています。KLA SP1T-BIは、高度なラインスキャンイメージング技術とデータ補正アルゴリズムを使用して、鮮明で高解像度の画像を作成します。この高解像度データは、高度な画像処理アルゴリズムを使用して表面の欠陥や地形の変化を検出する自動欠陥検出機に供給されます。このツールはまた、様々なサンプルタイプやサンプル形状を検査する柔軟性を備えています。TENCOR SP1 TBIは、2×4、2×6、3×3、4×4 mmのビン検査が可能です。この資産には、フォトレジスト残留物、傷、ピット、ボイドなどのさまざまな種類の非スケール欠陥を検出する機能もあります。このモデルは、欠陥特性評価のためにウェーハのEdge Profileを測定することもできます。TENCOR SP 1 TBIはまた、マスクとワークの自動ハンドリングと位置決めにロボティクスを使用しています。これは、常に機器コンポーネントの正確なアライメントを確保するのに役立ちます。このシステムは、さまざまなサンプルサイズや形状に対応するように構成することもできます。KLA/TENCOR SP1 TBIは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスで設計されており、検査されるサンプルの品質を監視するためのさまざまな統計制御機能を提供します。このユニットは、大量のデータを格納することも可能であり、ユーザーは欠陥やプロセスデータの詳細な統計分析を実行することができます。さらに、TENCOR SP 1-TBIは、標準画像フォーマット、ASCIIデータ、ネットリスト出力、データベースファイルなど、データ出力にさまざまな機能を提供します。その結果、マシンは他のソフトウェアやハードウェア環境のホストに簡単に統合することができます。TENCOR SP1T-BIは、高性能かつ高精度に設計された強力で信頼性の高いマスク&ウェーハ検査ツールです。高度なイメージングとオートメーション機能により、サンプルを正確に検査でき、柔軟な構成により、さまざまなアプリケーション要件を満たすことができます。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、広範な解析機能、データ出力機能を備えたSP 1-TBIは、半導体部品生産ラインに最適なソリューションです。