中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9277484 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、最も要求の厳しいマスクおよびウェーハ製造環境向けに設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度12メガピクセルのCCDカメラを搭載し、従来のシステムよりも優れた画像コントラストとシャープネスを実現しています。このユニットは、差動干渉対照顕微鏡（DIC）、ブライトフィールド顕微鏡（BF）、ダークフィールド顕微鏡（DF）、フォーカスイオンビーム（FIB）、走査電子顕微鏡（SEM）など、さまざまな非接触自動検査技術を可能にします。また、ライン幅、スペース、周波数、完成マスクやウェーハの欠陥の有無など、さまざまなパターン機能を検査することができます。このツールは、自動画像取得、ナビゲーション、および検査データの最適化により、リアルタイムで高スループットデータ収集を提供することができます。これにより、検査中に検出された欠陥または不一致を迅速かつ正確に分析およびレビューできます。KLA SP1T-BIはまた、最大720フレーム/秒（FPS）の高いサンプリングレートを誇っています。これにより、高解像度および高周波特性の高速検査に適しています。この資産はまた、短時間で小さな欠陥を検出することができる広い視野を持っています。また、形態学的アルゴリズムを使用して欠陥を自動的に検出および分析する高度なビデオ処理機能も備えています。これにより、検査データの定量的精度を最大化することができます。TENCOR SP1 TBIには大容量のメモリ容量があり、画像や加工データを保存して長期的なアーカイブやレビューを行うことができます。保存されているすべての画像とデータは、モデルのディスプレイ上で直接検査するか、さらに分析するためにPCに転送することができます。要するに、KLA/TENCOR SP1 TBIは、最高レベルの精度と速度を提供するように設計された強力で高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。高解像度カメラ、広視野、高度な映像処理機能を備えており、欠陥の迅速かつ正確な検出を可能にします。また、大容量のメモリと使いやすいインターフェースを備えており、迅速なナビゲーションと検査データのレビューが可能です。