中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9257857 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、マスク&ウェハ検査装置であり、最高品質のウェーハを生産するための重要欠陥を検出するために設計された自動検査システムです。パターンデバイスマスク、ウェーハ、レチクルなどの欠陥を検査するために使用され、最大限の精度と効率で評価を行うことができます。このユニットは、主観的な判断に頼らずに画像を分析し、高解像度の光学系と高精度アルゴリズムによる欠陥検出機能により、さまざまなマスクやウエハータイプの欠陥を検出し分類することができます。KLA SP1T-BIの光学機械は、フレアと均一性エラーを低減するために設計された独自のアルゴリズムと光学と組み合わせて、各光学分野の信頼性と再現性の高いデータを生成する反復可能なイメージングで、大きな視野（FOV）の目的を利用します。また、マスクイメージング用に最適化されたプログラム可能なレーザーストライプ照明を備えており、レチクルの解像度は0。45 μ m、マスク検査用は0。28 μ mの解像度を達成できます。このハードウェアには、自動ウェハ交換用のウェーハグリップセット、赤外線イメージング機能、およびウェーハとマスクの積み下ろしを容易にするために資産位置から別の位置に移動するプログラム可能なロボットアームも含まれています。すべてのハードウェアコンポーネントと画像の高度なアルゴリズム処理を統合した強力なVision Analyzerソフトウェアには、人工知能（AI）対応のスマート欠陥検出技術が搭載されており、表面欠陥検出と下面欠陥検出の両方を進める正確で堅牢な画像解析を提供します。さらに、TENCOR SP1 TBIはハイスループットのアプリケーション向けに設計されており、迅速な検査と自動化が可能です。このモデルは、数百の部品検査を短時間で検査し、高解像度のカラーイメージングで正確な結果を提供します。これにより、ピクセルサイズ、光源、露光時間、欠陥サイズなどの機器のパラメータを制御でき、検査の精度がさらに向上します。さらに、操作とパラメーター制御が簡単に行えるユーザーフレンドリーなインターフェースも備えています。結論として、TENCOR SP 1 TBIは、マスクおよびウェーハ検査用の信頼性の高い強力なユニットです。ハードウェアおよび高度なVision Analyzerソフトウェアの実装により、堅牢な欠陥検出機能と自動ウェーハ交換およびハイスループットオプションが提供され、生産に最適な最高品質のウェーハを実現します。