中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9163053 を販売中

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ID: 9163053
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2000
Unpatterned surface inspection system, 8"-12" Handler type: Automation-open cassette Notch alignment (1) Port, 8"-12" Currently installed and stored in cleanroom 2000 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBIは、高性能アプリケーション向けに設計された柔軟に構成されたマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、高度なパターンマッチングアルゴリズム、プログラマブルフォーカスオプティクス、および1600 x 4096解像度のCCDカメラなどの新しい技術を使用して、実績のあるSP1プラットフォームに基づいています。このシステムは、コスト効率に優れ、拡張性に優れており、さまざまなパフォーマンスのニーズに対応できる柔軟性を備えています。KLA SP1T-BIは、最新の高速光学系と高度な照明を備えており、3Dおよびライン/スペース機能を含む最新のマスクおよびウェーハ検査アプリケーションのニーズに対応しています。パワフルなパターンマッチング、画像処理、欠陥解析アルゴリズムにより、正確で信頼性の高い結果が得られます。ユニットは、自動的に最適な結果を確保するためにフォーカスと照明設定を調整する高度な自動焦点と露出制御を備えています。TENCOR SP1 TBIは、高速インデックス作成、高速イメージング、マルチタスク機能を備えた超高検査スループット向けに設計されています。この機械には、複数の領域だけでなく、複雑な幾何学的特徴を検査するための4軸、3軸ステージが装備されています。マルチタスク機能により、ユーザーは他のタスクで忙しい間、無人で実行するジョブを設定できます。その強力な機能に加えて、KLA SP1 TBIには、操作者にガイダンスを提供するユーザーフレンドリーなインターフェイスが付属しています。また、検査パラメータとデータロギングのためのグラフィックプロンプトを備えた直感的なユーザーインターフェイスも含まれています。さらに、このツールには、欠陥サイズ測定や銅対ガラスチェックなど、さまざまな分析ツールが装備されています。全体として、SP 1-TBIは、高精度マスクおよびウェーハ検査アプリケーションにとって信頼性が高く、費用対効果の高い選択肢です。高速光学、高度なアルゴリズム、直感的なユーザーインターフェイス、柔軟性により、コスト効率が高く拡張性の高いソリューションをお探しのお客様に最適なソリューションです。
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