中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9145376 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、ウェーハ上の欠陥レベルを迅速かつ正確に測定できるように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは高性能であり、半導体製造からMEMS製造まで幅広い用途に適しています。KLA SP1T-BIの中心は2Dイメージング技術です。この技術は、高速スキャン速度で、高精度で小さな欠陥を検出することができます。超高速低密度12メガピクセルCMOS検出器を搭載し、高解像度の画像をリアルタイムでキャプチャし、マスクやウエハプロファイルの微妙な変化を検出することができます。また、マスクやウェーハトポグラフィを測定したり、パターンの欠陥を明らかにしたり、パターンの特徴の不均一性を定量化したりする3D画像解析など、高度な画像処理・解析アルゴリズムを統合しています。さらに、このマシンは、登録オフセットや配置精度などの重要なプロセス制御パラメータに関する迅速なフィードバックを提供することができます。これにより、このツールはプロセス開発およびプロセス監視アプリケーションに最適です。TENCOR SP1 TBIは、マスクおよびウェハ検査のニーズに柔軟で包括的なソリューションを提供するように設計されています。モジュラー設計により、既存の製造プロセスに容易に統合でき、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスと直感的な操作により、使いやすくなります。また、信頼性と精度のため、長期生産に適しています。また、高度なプロセス制御、監査証跡、および診断機能を備えているため、校正パラメータ内に留まり、不規則性を検出して報告することができます。全体として、KLA SP1 TBIは、マスクおよびウェーハ検査に不可欠な高速で正確で包括的なイメージング機能を提供する高度なイメージング資産です。高性能イメージング技術、高度な画像解析アルゴリズム、包括的なプロセス制御および監査証跡機能を備えたこのモデルは、研究と生産の両方に最適です。