中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #293823422 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、プロセス制御と監視を目的としたマスクとウェーハの視野検査を行うために設計されています。この装置は、セクター全体からデータを収集し、毎秒最大200サンプルポイントを検査することができるため、微妙な欠陥と不均一性を包括的にカバーできます。KLA SP1T-BIは、2つの主な機能を中心に構築されています。そして欠陥の原因を識別し、適切な是正措置を提案する自動分析モジュール。この装置の先進的な光学・イメージングシステムは、紫外線と可視光を使用して、肉眼では見えない汚染物質や小さな欠陥を検出します。TENCOR SP1 TBIには、マイクロメートルの10分の1程度の粒子を検出するために使用されるUVレーザーと、ウェーハやマスクを照明するための白色光の2種類のライトがあります。この検出器には検出器アンプが装備されており、欠陥を検出する際の精度と感度が向上します。ツールの自動解析モジュール、またはAAMは、欠陥の原因を特定するための強力なツールです。AAMは、サンプルの物理的分析と化学的分析の両方を実行し、両方の結果を一覧表示するレポートを生成します。AAMを活用することで、マスクやウェーハの欠陥原因を迅速かつ正確に評価し、適切な是正措置を講じることができます。KLA/TENCOR SP1 TBIは使いやすく、維持するように設計されています。グラフィカルで直感的なユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーは素早くスキャンパラメータを設定して資産の機能を操作できます。このモデルはユーザーの介入を最小限に抑えるように設計されており、プロセス制御と監視が重要な大量生産アプリケーションでの使用に適しています。TENCOR SP1-TBIは、マスクおよびウェーハ検査用の堅牢で信頼性が高く、費用対効果の高い機器です。その先進的な光学およびイメージングシステムは、小さな欠陥の迅速な検出と検出を提供し、その自動解析モジュールは、欠陥の原因を迅速に特定し、是正措置を提案します。このシステムは使いやすく、メンテナンスも簡単で、大量生産アプリケーションでの使用に最適です。