中古 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9227710 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、集積回路の欠陥を識別および検出するために使用される高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。これは、複数のフロントエンド処理ステップの自動検査用に設計されており、継続的な歩留まり向上を確保するために、マスクおよびウェーハ機能の詳細な測定を提供します。このシステムには、ウェーハおよびマスクのサブミクロンの特徴と欠陥を検出および測定できる敏感な光学サブシステムが装備されています。4ピクセルまたは16ピクセルの構成で提供され、どちらも最高レベルのデュアルエネルギーホワイトライトフィールド技術を備えており、最大90nmの解像度でデュアル反射および透過モードの画像を解析できます。さらに、特許取得済みのZ-Stage Vacuum-Gap取得ステージを搭載し、すべての基板の表面フィーチャーを高速かつ正確に測定します。KLAはまた、検出された欠陥の感度しきい値をさらに低減し、信号対ノイズ比を増加させるTrueBright™ Image Enhancement技術も組み込まれています。KLA SP1-TBI SURFSCANを使用すると、さまざまなアルゴリズムを使用してウェーハおよびマスク情報を迅速に分析できます。キズ、毛穴、空隙、粒子、粒子壁、ライン端の粗さ、表面汚れ、溝などの幅広い欠陥を識別することができます。高度な欠陥検出アルゴリズムは、プロセスまたはジオメトリ関連の欠陥を0。14umまで検出できます。また、クリティカル寸法解析、マップトレーサビリティ、ロット解析など、自動化されたカスタマイズ可能な測定機能も提供します。さらに、TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、ユーザーが既存のウエハトラッキングソフトウェアをシームレスに統合できるようにプログラムされています。このツールには、結果を収集、視覚化、分析するためのさまざまな組み込みツールも含まれています。自動生産環境での運用も可能で、迅速かつ柔軟なパフォーマンス評価と欠陥/パラメータ解析が可能です。要するに、SP1-TBI SURFSCANは、正確で信頼性の高い欠陥検出および測定機能を提供する包括的なマスクおよびウェーハ検査アセットです。これは、高度な光学および解析機能の範囲を提供し、継続的な欠陥と歩留まりの強化のための高速で高収率で正確なソリューションを提供するように設計されています。