中古 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9217636 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANマスク&ウェーハ検査装置は、製造前のウェーハおよびマスクの特徴レベル欠陥検査に使用される自動ツールです。このシステムは、半導体業界の目と遠隔の検査要件を満たすように設計されています。Surfscanシステムは、高度な光学設計と独自の画像処理アルゴリズムを使用して、あらゆる種類のウェーハおよびマスク欠陥を特徴レベルで正確に検出します。Surfscan単位の光学設計は2つのレーザーを利用します；イメージング用のものと照明用のものがあります。両方のレーザーは、一連の光学系を介してウェーハまたはマスクに向けられる均一な方向偏光ビームを生成します。この配置により、ウェーハまたはマスク表面の完全な360ºスキャンが可能になり、傷、粒子、ピットなどの欠陥の詳細なイメージを提供します。Surfscanマシンの独自の画像処理アルゴリズムにより、高いスループットでウェーハとマスク面を正確に検査できます。アルゴリズムは、差動画像解析のためのエッジ検出とサブピクセル範囲のコントラスト解析を使用して、生成された画像の各ピクセルを分析します。この解析は、高い精度で欠陥を特定するために使用されます。また、Surfscan検査ツールは自動焦点とせん断補償を備えており、近距離と遠距離の両方の欠陥を含むサンプルの正確な欠陥検出を可能にします。統合されたウェーハ処理アセットが利用可能で、サンプルの自動および手動ロードおよびアンロードが可能です。このモデルは、シリコン、炭素、窒化物、酸化物、および酸化ハフニウムを含む複数の種類の材料を検査することができます。また、最大15ミクロンのスキャンが可能で、あらゆる種類の欠陥を正確に検出できます。Surfscan装置は高いレベルの信頼性および正確さを提供し、危険な特徴の点検適用の広い範囲に適しています。また、低コストで高度な欠陥検査機能を必要とするアプリケーションにも最適です。