中古 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9171668 を販売中
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販売された
ID: 9171668
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2004
Surface inspection system, 8"-12"
-Haze sensitivity: 0.005 ppm
-Argon ion laser (488nm)
-RTDC (Real time defect classification)
-Measurement chamber
With ULPA filter and blower unit
-Operator interface (Integrated measurement module)
-OS: Microsoft Windows NT4.0
-Interactive pointing device
Keypad controls
-TFT Flat panel display
-Parallel printer port
-Defect map and histogram with zoom
-Micro view measurement capability
-Iomega 1GB removable jaz drive
-(2) Clean room operations manual
-SP1 Operations manual (softcopy)
Illumination requirement:
-Normal illumination - 0.083µm (Defect sensitivity and oblique)
-Illumination: 0.060 µm Defect sensitivity
-(4) Channels:
Normal wide
Normal narrow
Oblique wide
Oblique narrow
-300/200-mm Puck-handling system
-Single SMIF handling module
Without FLUOROWARE cassette ID reader enclosures for 300/200 mm
-Accessories:
English and Japanese manual
Operation training
-Handling options:
Single FIMS handler (1 × 300 mm)
Vacuum handling system
-Options:
Bright field (DIC)
X-Y Coordinate
SECS-1
HSMS
PC-NFS Client
Desktop PC software
Color printer (Hawlett Packard Business inkjet 2300 equivalent)
Printer rack
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、欠陥検出および特性評価に優れた強力なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な多軸スキャンステージを使用して、欠陥位置や構造の非常に精密な3次元イメージングを提供します。洗練されたデュアル検出器アレイにより、すべての欠陥信号が正確にキャプチャされます。マルチレイヤー3D再構成アルゴリズムは、オペレータが欠陥をより迅速に識別および分類するのに役立ちます。KLA SP1-TBI SURFSCANには、欠陥分類ツールの高度なユニットも含まれています。これにより、オペレータは特定のタイプの欠陥を検索し、製品特性に合わせた個々の「署名」選択を設定できます。検査装置は、機器の設定や各製品タイプに合わせた画像解析パラメータを備え、幅広いウエハレベルスキャンが可能です。検査ツールは高度に自動化されており、10％以下の手動介入率で動作するようにプログラムすることができます。これは非常に高いレベルの出力とスループットを提供します。アセットの高感度かつ高度な欠陥レビュー機能により、選別の必要性が低減され、半導体デバイス全体の製造コストが削減されます。TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、精度、信頼性、再現性のための最高水準を満たすように設計されています。また、大量生産の極端な要求にも対応できる堅牢性を備えています。モデルの高度な検出および分類機能により、高いスループットレートが得られ、並べ替えプロセスにかかる時間が最小限に抑えられます。マスクおよびウェーハ検査装置には、高度なデータ分析とレポート機能を可能にする高品質の分析ツールが含まれています。システムは、欠陥データへの直接アクセスを提供し、オペレータが迅速に欠陥の種類と重大性を識別し、理解することができます。この分析は、特定の種類の欠陥とその根本原因のさらなる分析を可能にするタイムスタンプ機能の追加によってさらに強化されます。SP1-TBI SURFSCANはマスクおよびウエハの点検の真の革命的です。パワフルで信頼性の高い欠陥検査をコンパクトユニット内に組み込むことで、最先端の統合欠陥解析システムの性能レベルを上回ります。KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、マスクやウェーハ製造の欠陥に伴うコストを削減することで、半導体メーカーに競争力を提供します。
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