中古 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9117563 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、非常に高い歩留まりと欠陥のない生産を実現するように設計された洗練されたマスクおよびウェハ検査装置です。マスクおよびウェーハ検査プロセス中に効率と精度を最大限に高めるための幅広い高度な機能を提供します。革新的で高度なイメージングテクノロジー（IT）アルゴリズムを使用して、10 nmまでのサイズの欠陥をすばやく検出できます。このシステムは強力なデータ統合機能を使用しており、高速画像解析と高速自動欠陥補正を可能にします。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、オペレータは設定の調整、検査の実行、結果の迅速かつ効果的なレビューが容易になります。高度なカラーマッピング機能は、欠陥を認識する作業をスピードアップするのに役立ちます。また、欠陥データの迅速な処理を可能にする独自の最適化された画像分析（OIA）技術を搭載しており、マスクおよびウェーハ検査プロセスのスピードアップに役立ちます。その結果の精度をさらに高めるために、このユニットは誤差倍率解析（EMA）技術を組み込み、最小の欠陥を効果的に識別することができます。さらに、KLA社内VisionQC画像解析ソフトウェアなどのソフトウェアと完全に互換性があるように設計されているため、2つのシステム間で迅速かつ効率的なデータ転送が可能です。ソフトウェアベースの欠陥識別アルゴリズムであるImage Pattern Clustering （IPC）などのその他の機能は、画像データを相互参照する際に効率的かつ正確に動作することを保証します。全体として、KLA SP1-TBI SURFSCANマスクとウェハ検査ツールは、自動検査、分析、欠陥補正の印象的な組み合わせを提供します。高度なITアルゴリズムにより、非常に小さな欠陥を検出できます。直感的なGUIとデータ統合機能により、操作が迅速かつ正確に実行されます。マスクやウェーハ検査の精度を高め、歩留まりの最大化と欠陥のない生産を実現するために設計された高性能な資産です。