中古 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9113669 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANは、パターン化されたマスクとウェーハの物理的および電気的欠陥を検出するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。システムは、高解像度、光学イメージングユニット、アルゴリズム欠陥レビュー、およびソフトウェア制御で構成されています。このマシンは、最大200ミリワットの入射光をイメージングして、0。3ミクロンのサイズの欠陥を検出することができます。このツールは、20倍の倍率スペクトルイメージング資産と10倍の対物レンズを使用して、クラスで最高の分解能の欠陥検査を取得します。このモデルは、ランダムな物理的欠陥と、ウェーハまたはマスクの電気的性能が損なわれる可能性のある電気的欠陥の両方を検出することができます。また、ウェーハからウェーハへの登録やウェーハからマスクへの登録の問題を検知することができ、急な登録問題による問題に迅速に対処することができます。このシステムには、パターン化されたマスクとウェーハの物理的および電気的欠陥を検出するために迅速かつ正確に動作するさまざまな独自のアルゴリズムが含まれています。これらのアルゴリズムは、標準光学イメージングでは見えない不具合を検出することができます。このアルゴリズムは、マスク・ツー・マスクとウェハ・ツー・ウェハ登録の両方の欠陥を識別および測定するように設計されています。KLA SP1-TBI SURFSCANユニットは、生産プロセスにおける物理的または電気的欠陥を迅速かつ正確に特定できるように設計されています。さらに、このマシンはさまざまな業界標準の検査プログラムと互換性があり、お客様は既存のシステムをTENCOR SP1-TBI SURFSCANプラットフォームに簡単に統合できます。このツールは、迅速で信頼性の高い欠陥検査をユーザーに提供するように設計されています。