中古 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082120 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCANは最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な2ビーム検査技術を活用し、マイクロチップの欠陥を迅速かつ確実に検出できます。このシステムは、ライン幅から間隔、欠陥、エッジ配置エラー、その他の種類の不規則性まで、幅広い機能を検査することができます。KLA SP1-TBI SURFSCANユニットは、光学リーダー、インテリジェント光検出ユニット、パターン認識エンジンの3つの主要コンポーネントで構成されています。光学リーダは2つの超高速レーザービームで構成されており、マスクまたはウェーハ表面の広いフィールドポイント測定を可能にします。この検出器は、インテリジェントセンシングユニットを使用して、線幅、間隔、不規則性などのウェーハの特徴に関する情報を収集します。また、2次元と3次元の両方の空間での測定に適した正確な結果を提供します。パターン認識エンジンは、光学リーダーと検出器によって収集されたデータを分析し、収集された情報に基づいて意思決定を行う責任があります。線幅の特定、エッジ配置エラーのチェック、回路内の電流ショートの検出など、さまざまなタスクを実行できます。さらに、提供されたマスクおよびウェーハイメージから新しい、見えない欠陥を検出することができます。全体として、TENCOR SP1-TBI SURFSCANは強力で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査機です。これは、迅速な結果を提供するように設計されているだけでなく、さまざまなアプリケーションのためのマスクやウェーハを検査する際の精度と再現性を保証します。高感度と検出機能を備えたこのツールは、チップが最高水準の品質と信頼性で製造されることを保証します。