中古 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262807 を販売中

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLSは、大量生産環境向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高いスループットと正確な自動欠陥検査を提供します。先進IC、 MEMS、ウェーハ、マスクなどのマイクロエレクトロニクス部品の最先端の生産に使用されています。このシステムは、高解像度の光学オーバーレイを提供し、正確に整列された画像を比較します。KLA SP1 サーフスキャンDLSは、検査中にコンポーネントのパラメータ間の関係を正確に測定できます。このユニットは、Chroma Machine Visionテクノロジーの配列と統合されており、これらのコンポーネントの詳細な画像を大きなダイナミックレンジでキャプチャできます。このマシンには、幅広い欠陥を検出できる自動欠陥認識ソフトウェアもあります。TENCOR SP1 Surfscan DLSは、マスクやウェーハ検査に伴うコスト、時間、複雑さを大幅に削減するさまざまな機能を提供します。これには、粒子、ライン、マーク、およびその他の欠陥の自動検査が含まれます。再現可能な結果を得るための自動校正機能を搭載し、手動検査プロセスも排除します。Themachineはまた、高速で並列処理することができます、毎時200までのウエハ、それは迅速に大きな検査ジョブを完了することができます。さまざまなレシピ設定でプログラミングすることができ、さまざまなタスクや検査基準に対応できます。さらに、SP1 Surfscan DLSは自動ウェハマッピングと統合されており、欠陥分類の追加ステップを提供し、手動マーキングの必要性を排除します。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、ジョブ設定をすばやくプログラムおよび変更できます。このツールには、広いカバレッジエリアと高度なフォーカスアセットが含まれており、ユーザーは単一のウェーハ上でさまざまな場所を自信を持って検査することができます。全体として、KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLSは、工業生産環境に最適化された高性能マスクおよびウェーハ検査ソリューションを提供します。その自動検査機能は、ウェーハ検査に伴う時間と複雑さを大幅に削減し、直感的なユーザーインターフェイスにより、ジョブ設定を簡単にプログラムおよび調整できます。その性能と信頼性により、IC、 MEMS、ウェーハ、マスク、およびその他のマイクロエレクトロニクスコンポーネントの製造に最適です。