中古 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9049199 を販売中

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLSは、高精度の自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、集積回路の製造中にマスクやウェーハのエラーを検出するために設計された幅広いツールを提供します。製品リリース前の再マスキング、再検査、およびその他の修正修理作業に関連するコストの削減に役立ちます。KLA SP1 サーフスキャンDLSは、薄膜欠陥、ピークバレー高さの測定などの表面トポグラフィー機能、およびその他の種類の構造および電気的欠陥などのエラーを検出できます。このユニットは、洗練されたアルゴリズムを使用して、ウェーハとマスク表面の欠陥を迅速かつ正確に検出します。また、幅広い集積回路設計に対応しているため、あらゆる設計におけるエラーを迅速かつ確実に検出できます。TENCOR SP1 Surfscan DLSは、欠陥の画像をキャプチャするための高解像度カラーイメージングCCDカメラ、最高精度の様々な角度と高さに対応するように構成可能な高品質の照明機、検査のために必要なときに正確にマスクとウェーハを移動する自動機械的なステージを備えています。また、ラインパターンの修復および解析のためのEフィールド補正、表面イメージングおよび欠陥評価のための自動ツール、および自動パターン認識など、いくつかの自動および半自動ソフトウェアツールも備えています。SP1 Surfscan DLSを使用すると、カスタマイズされたプロセスマップを作成し、製品フローをオーバーレイして異なる生産ラインのパフォーマンスを監視することで、生産プロセスの包括的なビューを簡単に取得できます。このツールはまた、各製品が正確かつ確実にテストおよび検査されることを確実にするために、複数のウェハ検出および欠陥分類機能をサポートしています。KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLSを使用することで、製造工程における潜在的な問題が深刻になる前に特定できるため、再検査、リワーク、修理に伴うコストを削減できます。結論として、KLA SP1 Surfscan DLSは強力でありながらユーザーフレンドリーなマスクおよびウェーハ検査資産であり、製品の品質と信頼性を保証します。高度なアルゴリズムと自動ソフトウェアツールを備えており、エラーを迅速かつ正確に検出し、カスタマイズ可能なプロセスマップと補完的な製品フローにより、生産プロセスを包括的に把握できます。ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、製造中のマスクやウェーハの欠陥を正確かつ効率的に検出することができ、製品品質を向上させながらコストを削減することができます。