中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9283698 を販売中

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ID: 9283698
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Particle measurement system, 12" Dual FOUP 2003 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLSは、先進的なフォトマスク、シングルウェーハ、およびバッチテスト構造用に設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、フォトマスクやウェーハの欠陥を検出するために使用され、最大12個のウェーハ/マスクを高速で同時にスキャンすることができます。KLA SP1 DLSにはマルチビームレーザーセンサーが搭載されており、一度に複数の画像をキャプチャすることができます。これらの画像は、0。7 μ mからより大きな欠陥までのサイズの欠陥について分析されます。欠陥解析は、熟練したオペレータの助けを借りて、手動で行うことができます。TENCOR SP 1-DLSユニットには、自動プログラミング機能と自動検査機能が搭載されており、ウェーハやマスクの検査を容易かつ迅速に行うことができます。このマシンには、欠陥レビュープログラムもあり、ユーザーは欠陥箇所をセグメント化、最小化、可視化、分析、レポート化できます。有機フィルムや無機フィルムなど様々な材料に対応し、低反射面・高反射面の画像を撮影することができます。KLA SP 1-DLS資産は、ユーザーに高度な欠陥検出、画像処理、およびデータ分析を提供します。リアルタイムテクノロジーを使用して、大量のデータをスキャンおよび分析し、さまざまな角度から複数の画像を迅速に生成します。データは、さらなる分析のために、任意のサードパーティ製ソフトウェアにエクスポートすることができます。このモデルは、ユーザーがニーズに応じて欠陥検出を調整できるカスタマイズ可能なパラメータを備えています。TENCOR SP 1 DLS装置は、市場で最も先進的なマスクおよびウェーハ検査システムの1つです。この高度なシステムは、小さな欠陥を検出し、正確なデータ分析とレポート生成を提供し、手頃な価格で提供します。様々な用途に適しており、マスクやウェーハ検査用途において高い性能と信頼性を提供するよう設計されています。
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