中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267041 を販売中

KLA/TENCOR SP1-DLSは、高度な半導体プロセスの包括的な監視および検出機能を提供するように設計された最先端のマスクおよびウェハ検査装置です。KLA SP1 DLSは、最先端のFinFETをはじめとする幅広いIC技術において、1時間あたり最大600個のウェーハを処理できるモジュラー型のハイスループットシステムです。マスクとウェーハ表面の光学および走査型電子顕微鏡（SEM）ビューのための業界をリードする2Dおよび3Dイメージング技術を備えています。TENCOR SP 1-DLSは、表面トポロジ、パターン認識、オーバーレイエラーなどの欠陥やその他の機能を迅速に検出できます。検査速度と精度のおかげで、問題を迅速かつ正確に検出することができ、修正を行うことができ、高価な再作業と修理の潜在的な必要性を減らすことができます。さらに、高度な画像処理技術とアルゴリズムを備えており、欠陥の自動分類と識別をサポートしています。KLA SP1-DLSは、計測検査、層ごとのマスク検査、オーバーレイ誤差検出、ギャップ検査などの高度な分析機能を提供します。自動化されたツール設定は、さまざまなマーカータイプに最適なパラメータ設定を保証するために調整することができます。これにより、データ分析のための特定のパラメータを識別しやすくなり、資産のパフォーマンスを最適化するのに役立ちます。また、高度なネットワーク機能を備えており、ユーザーはリアルタイムでオフサイトでデータにアクセスできます。これにより、さまざまな環境で分析とデータ収集が可能になり、より効率的なパフォーマンスを実現します。さらに、この機器はユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、データ収集および分析ツールを迅速かつ直感的にナビゲーションできます。SP 1 DLSは、最新の半導体プロセスに理想的なマスクおよびウェーハ検査システムを実現する包括的な機能を提供します。このユニットは、信頼性が高く正確なパフォーマンス、高速処理速度、グラフィカルナビゲーション、包括的な解析ツールを備えており、最先端の集積回路生産プロセスの欠陥を特定して根絶するための必須ツールです。