中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267039 を販売中

KLA/TENCOR SP1-DLSは、マスクおよびウェーハ検査用の高度な計測ツールです。この装置は、高度な光学技術と構造化された光プロジェクション技術と、ウェーハおよびマスクの検査機能を組み合わせて、生産面を正確に監視します。KLA SP1 DLSは、ウェーハ、マスク、その他の基板の欠陥を迅速かつ正確に検出および分類するように設計されています。このシステムは、画像処理、デジタルズーム、パターン認識技術を使用して、マイクロレベルの精度で機能をキャプチャおよび測定します。このユニットは、ガラス、セラミック、半導体材料など、さまざまな基板を検査するように設計されています。この機械は、目に見える粒子、目に見えない粒子、およびその他の異常を検出して区別することができます。また、ナノサイズの粒子を検査することも可能であり、特定の欠陥の特性と複雑さに関するより詳細な情報を提供することができます。TENCOR SP 1-DLSは、高度な照明技術を備えた高感度のテレセントリック5軸ビューツールを使用して、さまざまな角度で画像を取得し、基板に幅広いカバレッジを提供します。このアセットは、さまざまな検査対象のサイズ、場所、および測定レベルを検査するようにプログラムすることができます。KLA SP 1-DLSは、さらなる分析のために、複数の露光ステップで3D画像を生成することができます。高解像度のオンボードカラーカメラと高度なイメージングソフトウェアおよび解析アルゴリズムを組み合わせることで、モデルはサイズ、形状、位置に基づいて欠陥を正確に分類することができます。機器は、欠陥分類プロセスをさらに支援するために、オンボードパターン認識システムと統計アルゴリズムを利用しています。SP1 DLSは、効率的なデータ取得、レビュー、アーカイブのために、高度なデータロギングソフトウェアによってサポートされています。さらに、SP 1-DLSは拡張可能に設計されているため、必要に応じて追加のセンサーやモジュールをユニットに組み込むことができます。これにより、検査プロセスにおける追加レベルの自動化が可能になります。全体として、TENCOR SP1-DLSは、高度な光学およびイメージング機能を備えたマスクおよびウェーハ検査用の強力で精密な機械です。このツールの高解像度イメージング、デジタルズーム、パターン認識技術と高度なデータ解析アルゴリズムにより、TENCOR SP 1 DLSはさまざまなタイプの欠陥を正確に特徴付け、分類することができます。これにより、KLA/TENCOR SP 1 DLSは、半導体産業における高精度生産を確保するための貴重な資産となります。