中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9261865 を販売中

KLA / TENCOR SP1-DLS
ID: 9261865
ウェーハサイズ: 8"-12"
Surface inspection system, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1-DLSは、幅広いマイクロエレクトロニクス用途向けに特別に設計された高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。マニュアル、半自動、完全自動検査モードなど、欠陥検出のためのさまざまな技術を備えています。このシステムは、可変深度検査機能を備えた高解像度デジタルイメージングユニットで構成されています。コンタクト、ライン、スペースなどのマスクの特徴を分析するための高解像度のイメージング偏光を提供します。また、電気試験を通じて半導体デバイスの性能特性と規制遵守を測定および校正します。マスクおよびウェハ検査機は、試験基板を迅速かつ正確にロードおよびアンロードするための自動基板処理ツールを備えています。これにより、最高レベルの精度と精度を維持しながら、最大のスループットと効率を実現します。また、ウェーハや基板の高精細画像を撮影するための高精度レンズも備えています。これにより、資産は迅速な分析と報告のために必要なすべての欠陥情報をキャプチャすることができます。モデルのユーザーインターフェイスは直感的で使いやすいです。フルスクリーンのキャリブレーション設定と強力なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えているため、ユーザーは観察された欠陥をすばやく簡単に特定できます。ユーザーは機器上で直接データとやり取りすることができ、ウェーハおよびマスク画像の迅速かつ正確な分析を可能にします。リモートモニタリング機能も備えており、ユーザーは世界中のどこからでもデータを追跡および分析することができます。これにより、ユーザーは、存在する必要なく、任意の場所から基板やウェーハを分析することができます。KLA SP1 DLSマスクおよびウェハ検査ユニットは、最高レベルの精度と精度を実現するよう設計されています。信頼性が高く、使いやすく、幅広いマイクロエレクトロニクスアプリケーションにトップレベルのパフォーマンスを提供します。
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