中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9255089 を販売中

KLA/TENCOR SP1-DLSは、最新の半導体プラントの厳しい要件を満たすように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。多種多様なウェーハパターンを検査し、非常に低い誤報率で正確な結果を得ることができます。KLA独自の組み込みディープラーニングアルゴリズムを使用して、KLA SP1 DLSは欠陥のレビューと分類において前例のないレベルの精度を達成します。このユニットは、顕微鏡でウェーハ表面を画像化し、その結果を専用ソフトウェアで解析することで動作します。その後、パターンの欠陥を特定し、サイズとタイプによって特徴付けおよびグループ化することができます。また、絶縁された欠陥とパターン化された欠陥を識別することができ、ライン幅、ライン幅/エッジの鋭さ、およびラインエッジの粗さを区別することもできます。TENCOR SP 1-DLSは、柔軟性と信頼性に優れたウェーハ準備プラットフォームを採用しており、機器オペレータが検査用のウェーハを迅速かつ簡単に準備することができます。このプラットフォームは、繰り返しの洗浄手順に耐えうる堅牢性を備えており、生産レートを最大化し、ウェーハあたりの部品数を削減するように設計されています。このツールは、自動化されたファイル転送および分析制御インターフェイスを備えているため、オペレータはプラント全体および上流および下流システムに情報を迅速かつ簡単に転送できます。また、このインターフェイスは直感的なユーザーインターフェイスを提供し、遠隔地からアセットを簡単に制御できます。KLA SP1-DLSには高度なレビュー検証機能が組み込まれており、オペレータは検査結果を迅速かつ簡単に検証することができます。この機能は、微妙なパターン変化を正確に識別するTENCOR埋め込みディープラーニングアルゴリズムによってバックアップされています。さらに、このモデルはツールメトリックとパフォーマンスを追跡します。これにより、オペレータは機器のパフォーマンスを迅速かつ簡単に診断およびトラブルシューティングできます。全体として、TENCOR SP1 DLSは強力で信頼性が高く、汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査システムです。高度な組込みディープラーニングアルゴリズムは、欠陥のレビューと分類に優れた精度を提供します。一方、ファイル転送と分析の自動制御機能と直感的なユーザーインターフェイスにより、ユニットの操作が簡単になります。堅牢なウェーハ準備プラットフォームとレビュー検証機能により、ウェーハあたりの部品数を削減でき、ツールメーター機能によりオペレータに貴重なパフォーマンス情報を提供します。これらの機能を組み合わせることで、SP 1-DLSは現代の半導体プラントにとって理想的な選択肢となります。