中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9227708 を販売中

KLA/TENCOR SP1-DLSは、正確な欠陥検出と管理のために設計された高度な光学マスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学系と高度なアルゴリズムを搭載した高性能自動光学検査システムで、ナノスケールのIC、マスク、ウェーハの欠陥や特徴を検出し分類します。KLA SP1 DLSユニットは、複雑なデバイスの生産を加速する一連のハードウェアおよびソフトウェア技術を提供します。その高度な技術は、フロントサイドとバックサイドの両方の検査に使用され、自動化された欠陥レビューを提供します。TENCOR SP 1-DLSマシンには、メインハードウェアコンポーネントとしてスタンドアロンのマスクSORPION検査ツールが含まれています。この資産は、フロントサイドとバックサイドの両方のマスク層の欠陥と欠陥を検出することができます。ハードウェアの一部として、最先端の完全にプログラム可能なアルゴリズムモデルが含まれています。ウェーハレベルで欠陥、異常、またはデバイス固有の機能をすばやく検出できるように、完全に自動化されたプロセス用のウェーファースコープ光検査装置と統合されています。この詳細な分析は、生産の遅延を減らし、歩留まりを最大化するために使用できるカスタマイズされたソリューションを迅速に作成するのに役立ちます。KLA SP1-DLSは精密なアライメントシステムを備えており、高解像度光学系の助けを借りて、マスクとウェーハレイヤーの両方の超小型クリティカル領域を検査することができます。HDRL （High Density Risen Lens）を搭載し、複数のデバイスで比類のない再現性と再現性を提供します。SP 1-DLSには強力な自動欠陥レビュー（ADR）ユニットもあり、プロセス品質管理のフィードバックとプロセスの問題の早期発見を提供できます。これにより、生産プロセスを迅速化し、全体的な生産コストを削減できます。洗練されたベクトルガイドマスクとウェーハアライメントにより、一貫したパフォーマンスとエラーのない結果が得られます。これらの技術の助けを借りて、製品歩留まりの最適化を迅速に追跡することで、サイクル時間の短縮と生産効率の向上を可能にします。KLA/TENCOR SP1 DLSは、高精度、小規模検査、ウェーハ検査に最適なソリューションです。ナノスケールのレベルでエラーや異常を検出し、迅速に修正するのに役立ちます。また、使いやすいインターフェイスにより、ユーザーは生産を合理化し、遅延を最小限に抑えることができます。その機能により、プロセス制御、精度、およびピーク生産率を可能にするように設計されています。