中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9226889 を販売中

KLA/TENCOR SP1-DLSは、優れた画質と精度を提供するように設計されたマスク&ウエハ検査装置です。高度な光学、照明、ソフトウェア技術を活用して、非常に詳細な欠陥特性評価、高度な自動化、優れた使いやすさを提供します。このシステムは、6メガピクセル以上の解像度を提供するカスタム検出器の設計を特徴とし、パターンおよび汚染欠陥の検出精度を向上させます。光学ユニットは、複数の対物レンズを使用することができ、ユーザーは異なる視野と倍率を選択することができます。マシンには再構成可能な照明モジュールがあり、ユーザーが画像で確認する必要がある欠陥情報に応じて明るいフィールドまたは暗いフィールドの画像コントラストを作成するためにセットアップすることができます。光は、複雑な散乱層の検査を可能にし、かみそり細い線と微細な、さらには隠れた欠陥を検出することができます。このツールには、独自の測定および欠陥検出アルゴリズムの完全なスイートがあります。高度なソフトウェアには、アルゴリズムパラメータ調整の必要性を低減する自動チューニング機能が含まれています。その結果、アセットを素早く簡単にセットアップして、6ナノメートルのサイズの欠陥を自動的に検出して特徴付けることができます。さらに、アルゴリズムの処理速度は、前世代のウェーハ検査システムの数倍高速であり、より競争力のある価格で迅速かつ信頼性の高い結果を提供します。正確な検査結果を得るために、KLA SP1 DLSは検証済みのトレーサブルな校正モデルを備えています。この装置は、独立したリファレンスウェハを使用して、理想的ではない機械の性能や環境の変化を測定および修正します。これにより、システムの再構成が最小限に抑えられ、結果が指定されたプロセス基準内にあることが保証されます。このユニットは使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。GUIを使用すると、すべての検査セットアップオプションと関連するデータにすばやくアクセスできます。ツールとレポート機能の直感的な選択は、ユーザーを関連するデータにすばやく導くことができます。要するに、TENCOR SP 1-DLSは、優れた画質、高精度、簡単なセットアップを提供する信頼性の高い強力なウェーハ検査機です。カスタム検出器の設計、高度な光学系、および独自のアルゴリズムのフルスイートにより、ユーザーはこのツールが正確で効率的な結果を提供できると確信できます。