中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9221448 を販売中

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ID: 9221448
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
System, 12" Process: Contamination detection Hardware configuration: Main system: Main mini environment platform SMIF System: (2) ASYST IsoPort Handler system: ASYST Axys model 21 robot Options: Bright field Vacuum system (Vacuum chuck) E84: Overhead load system Chamber components: ARGON Laser JDS uni-phase 75mW Chuck vacuum 2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLSは、検査および分析プロセスを最適化するために設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。KLA SP1 DLSは、高度な光学系、大型視野(FOV)、超高解像度を備え、マスクおよびウェーハ表面の表面関連の欠陥を迅速に識別、特性評価、分類する自動ソリューションを提供します。TENCOR SP 1-DLSの主要コンポーネントは、Quadray光学を搭載したデュアルレーザースキャナ(DLS)で、トップダウンスキャン、サイドビュースキャン、および2次元(2D)画像解析を同時に実行できます。このシステムは、重要な欠陥情報をキャプチャし、マスクとウェーハ表面の包括的な検査と分析を可能にします。表面検査をさらに最適化するために、SP 1-DLSは独自の高度なアルゴリズムを使用して、形状、サイズ、位置、光学コントラストに基づいて欠陥を分析および分類します。この機能により、表面レベルと非表示の両方の欠陥を識別して分類することができます。TENCOR SP1-DLSは包括的なレポート機能も提供しており、ユーザーは高品質の事前定義またはカスタムレポートを生成できます。これらのレポートでは、重要な欠陥情報を詳細に説明し、エンジニアリングチームが該当するマスクおよびウェーハの欠陥を迅速に診断、評価、およびトラブルシューティングできます。KLA SP 1 DLSは、他のソフトウェアプログラムやハードウェア、またはデータ管理用のホストベースのパーソナルコンピュータとのシームレスな統合を可能にします。このユニットは、リアルタイムの欠陥管理と心配な欠陥の自動通知も可能です。また、優れた信頼性と再現性を提供し、顧客は表面レベルの欠陥を正確かつ確実に評価することができます。TENCOR SP1 DLSは業界をリードするソリューションであり、正確な欠陥検出と分析、および市場投入までの時間を短縮するための速度と効率を提供します。このマシンは、包括的かつ堅牢な検査と分析を提供することができ、ダウンタイムを排除し、手動の検査と分析に関連するコストを削減することができます。広い視野は、さまざまな表面欠陥を検査する柔軟性を提供します。一方、高度な光学系と自動化されたプロセスにより、表面欠陥の精度と信頼性が保証されます。KLA/TENCOR SP 1 DLSは、マスクおよびウェハ検査に最適なソリューションです。
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