中古 KLA / TENCOR SP1-DLS #9016572 を販売中

KLA/TENCOR SP1-DLSは、複数のプロセス工程および分野にわたる欠陥を検査するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。最新の高度なイメージングおよび検査技術を備えており、さまざまな種類の欠陥を迅速かつ正確に検出および特定します。KLA SP1 DLSシステムは、製造環境と実験室環境の両方に対応するマスクおよびウェーハ検査の業界標準であり、世界最大のチップメーカーやファウンドリの多くで使用されています。この自動化されたユニットは、ツールや設定を変更することなく、単一のプラットフォーム上でさまざまなマスクやウェーハを検査することができます。これは、上部、下部、または表示の間にカスタマイズすることができ、~ 2。5 μ mまでの画像解像度を達成するモジュラー検査領域を持っています。TENCOR SP 1-DLSは、さまざまな製品タイプに適応し、パターンシフト、ラインエッジの粗さ、イメージコントラストなどの欠陥を含む多数の欠陥を特定するために設計された最先端の検査アルゴリズムと適応光学技術を使用しています。さらに、偽色3Dオーバーレイ、輪郭解析、断面グラフィックディスプレイなどの可視化ツールで包括的な製品分析をサポートしています。ソフトウェアを使用すると、ユーザーは同じデータセット内の複数の製品またはプロセスで欠陥結果を確認して、傾向を特定して影響を与えることができます。このツールの高精度ビジョンアシスト校正機能は、必要に応じてライブカメラの調整を行うことで、時間の経過とともに正確な再現性を保証します。さらに、KLA SEMVision自動機械学習ツールキットは、業界トップクラスの分類精度とより迅速なトレーニング時間を提供することにより、欠陥特性をさらに簡素化します。統合されたレポート資産は、さまざまな製品の欠陥情報とモデルのパフォーマンスを簡単に追跡するのに役立ちます。全体として、SP 1-DLS装置は、信頼性の高い正確なマスクおよびウェーハ検査に最適です。最高レベルのマスクとウェーハの品質を維持し、検査コストを削減できるように設計されています。これにより、さまざまな欠陥を正確に特定でき、プロセス全体のプロセス制御と可視性を向上させることができます。