中古 KLA / TENCOR SP1 Classic #169068 を販売中

KLA/TENCOR SP1 Classicは、より高いスループット、より高い歩留まり、および改善された欠陥検出を実現するように設計された完全自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、高度な検出器、光学、および高度なアルゴリズムを備えており、高レベルのパフォーマンスを実現します。各ユニットには、IRカメラや、異なる仕様に設定できるズームレンズ付きのLED光源などのアクセサリーが付属しています。KLA SP1 Classicには、クアッドレイヤーカラーフィルターを内蔵した高解像度CCDセンサーが搭載されています。これにより、機械は垂直欠陥と水平欠陥の両方を検出し、極端な精度で欠陥の正確な位置を特定することができます。また、高速オートフォーカスツールを備えているため、必要なパターンや仕様からわずかな偏差も検出できます。TENCOR SP 1 CLASSICには、手動モードとインタラクティブモードを含むいくつかの異なるユーザーモードがあり、さまざまな種類の欠陥タイプを分析および検査することができます。また、高品質の欠陥検出ルーチンを含む、定義済みの解析ルーチンのライブラリが付属しており、マスク欠陥ウェハの迅速な評価および分析に使用できます。SP1 Classicは、ほこりのない環境で動作するように設計されており、狭いスペースに収まる小さなフットプリントを備えています。TFS （Thermal Focusing Equipment）を内蔵しており、自動的にフォーカスを調整し、画質を一貫して維持することができます。このユニットには、画像の解像度と精度を大幅に向上させるEnhanced Imaging Machine （EIS）も含まれています。このツールは非常に効率的で信頼性が高く、1ウェーハあたりの低コストと低ダウンタイムです。自動化された欠陥レビュープロセスにより、ユーザーはマスクの欠陥をすばやくレビューして拒否することができます。また、KLA/TENCOR SP 1 CLASSICは、ウェーハおよびマスクデータを追跡し、実行されたテストおよび検出された欠陥の詳細な記録を提供することができます。全体として、KLA SP 1 CLASSICは優れたマスク&ウェーハ検査アセットであり、生産設定の歩留まりと品質を向上させるために信頼できます。高度な検出器と光学、高度なアルゴリズム、自動化されたプロセスを備えたこのモデルは、ウェーハのテストと検査に費用対効果の高い信頼性の高いソリューションを提供します。