中古 KLA / TENCOR SP 200 #293608654 を販売中
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KLA/TENCOR SP 200マスクおよびウェーハ検査装置は、集積回路（IC）マスクおよびウェーハの欠陥を検出するために設計された多目的で高度に自動化されたシステムです。このユニットは、基本的なウェハースキャンから欠陥解析まで、さまざまなレベルのマスクやウェーハの検査、レビュー、ソートに使用されます。KLA SP 200マシンは、各アプリケーションの特定のニーズに合わせてカスタマイズできるカスタマイズ可能なソフトウェアプラットフォームを使用しています。このツールは、5ナノメートルの欠陥を検出できる独自の高解像度イメージング機能を備えています。また、デュアルビームレーザー、高精度画像処理、非接触スキャンヘッドを搭載しており、正確なマスクアライメントを実現し、耐性チップの正確で信頼性の高い検出を実現します。このアセットは、ダイツダイやダイツウエハ比較検査など、さまざまなアプリケーションに使用できます。kinkedおよび橋渡しワイヤーを見つけること；破片の欠陥、漏出および不足分の収穫そして診断を推定します。このモデルは、プロセス制御を改善し、スループットを向上させるために使用できます。この機器は、統合されたサポートソフトウェアとハードウェアコンポーネントを備えています。ソフトウェアには、データ取得と欠陥レビューが含まれます。これは、不整合、傾斜効果、ブリッジング、ピンチ、ショーツ、ミス形成フィデューシャル、ミス整列フィデューシャル、欠損要素、ランダム欠陥、チップ損傷、マスクまたはウェーハ登録またはダイサイズの不均一性など、さまざまな欠陥を検出することができます。また、製品仕様のデータベースアクセス、さまざまな自動プログラミングおよびシミュレーションツール、および統計分析用ソフトウェアも含まれています。システムアーキテクチャには、自動化された再作業とデータ分析機能も含まれています。ハードウェアコンポーネントは、ウェーハ/マスク固有の機械化スキャナ内のデュアルビームレーザーで構成されています。これにより、マスクとウェーハの迅速かつ正確なアライメントとスキャンが可能になります。TENCOR SP 200ユニットはまた、画像処理や機能強化ツール、パターン認識ツール、色画像評価、テンプレートマッチングのための高度なアルゴリズムなど、機械のパフォーマンスを向上させるためのさまざまなツールを提供しています。SP 200アセットは、高性能なイメージングと信頼性の高い欠陥検出により、コストに優れた価値を提供し、マスクやウェーハの検査および欠陥分析に最適です。
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