中古 KLA / TENCOR SL515 #9032013 を販売中

ID: 9032013
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Mask inspection system, 12" 2 LP, 1 CHM, 1 ARM/1 LP, 1 CHM , 1 Laser (1) Loadport (Asyst) Loadports carrier reader: RFID type Robot: KLA design Light source: Coherent laser, FRED, ASSY, HP 257nm (SHG of 514nm by the BBO crystal) Function: Inspection mask surface's haze Components: Power condition (for UIC) UM Power condition (for UM) RLS UIC Operation con Operation con (SunBlade 2000) IAS KLA 95i Operation con (printer) Parts missing: FRU, MODULE BEAM STAB, 5XX FRU, MODULE DIFFUSER, 5XX 2007 vintage.
KLA/TENCOR SL515は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高解像度のイメージングと計測を利用して、各マスクとウェーハをナノメートルスケールまで検査します。KLA SL515は高速な取得率により、検査時間を短縮し、製品品質を向上させます。KLA SL515high-resolutionイメージングは、20インチのディスプレイと組み合わせて使用されるデジタルLED光源によって実現されます。このディスプレイは、マスクとウェーハを明確に表示し、欠陥の容易な識別を可能にします。このユニットはまた、欠陥のサイズ、形状、分布を測定する統合計測機を備えています。その後、このデータは後で分析と比較のためにデータベースに保存されます。このツールは、欠陥を迅速かつ正確に識別できる自動欠陥検出および分類アルゴリズムも備えています。この機能は、人間の検査を排除することによって時間とお金を節約します。アセットはまた、コストのかかる再作業や生産遅延につながるプロセス制御の問題を特定することができます。TENCOR SL 515は、高速で信頼性の高いデータと優れた解像度を提供するため、マスクおよびウェーハ検査に最適なソリューションです。このモデルは、半導体製造プロセスの厳しい要求を満たしており、顧客に提供される製品が最高品質であることを保証します。自動化された欠陥検出および分類アルゴリズムは、コストのかかる手動検査を排除することで時間とコストを節約します。
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