中古 KLA / TENCOR SL3 #293824682 を販売中

KLA/TENCOR SL3は、プロセスエンジニア、装置サプライヤー、ファブレス半導体製造事業が歩留まり率と製品品質を向上させるために設計された先進的なマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、リソグラフィとエッチングの重要なプロセス手順でウェーハを検査するように設計されています。高解像度CCDカメラ、調整可能な圧力段、電動Z段、自動化されたアライメントユニット、光源など、いくつかの重要なコンポーネントを備えています。高解像度のCCDカメラを使用すると、ウェーハの両側を同時に表示でき、表面を4ミクロンまで完全にスキャンできます。調整可能な圧力段は、信頼性の高いイメージングに必要な圧縮を正確に維持し、正確で再現性のある結果を得ることができます。モーター式のZステージは、正確で自動化されたウェーハ処理を提供し、人間の介入を最小限に抑えた検査を可能にします。自動化されたアライメントマシンは、最適なフォーカスとアライメントを保証し、照明ツールは正確な色の忠実性を保証します。ツールと機能の組み合わせにより、KLA SL3を使用すると、複数のレベルのプロセス統合にわたって、機能サイズと欠陥位置を迅速かつ正確に検出できます。このアセットにより、検査基準をカスタマイズし、プロセス制御を改善するためにウェーハ特性を即座に評価することができます。TENCOR SL3は、生産性、精度、歩留まりを最大化するために設計された高度なウェーハ検査モデルです。優れたイメージング機能、自動化されたアライメント機能、高度な機能を組み合わせて、半導体製造に使いやすいプラットフォームを提供します。これにより、作業者の注意を最小限に抑えた高速で信頼性の高い正確なウェーハ検査が可能になり、プロセス制御と歩留まりを向上させることができます。