中古 KLA / TENCOR SCD-XT #9228108 を販売中

KLA/TENCOR SCD-XTは、直径450mmまでのフォトマスクおよびウェーハを正確かつ確実に検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。明るい光源と暗い光源を組み合わせたBrightfield Illuminationとパターンベースの照明を使用して、ミクロンの10分の1の欠陥を正確に検出します。このユニットは、エッジ配置エラー、ライン幅、形状欠陥を検出するだけでなく、マスクやウェーハのないさまざまな欠陥タイプを検出することができます。最大8種類の欠陥を同時に検出することができます。KLA SCD-XTマシンは、ブライトフィールド照明とパターンベースの照明を提供する検査ヘッドと、一連の光学部品と信号処理エレクトロニクスで構成されています。このツールには高解像度のCCDカメラがあり、マスクやウェーハ上のレイヤーやパターンからの光信号をキャプチャします。カメラは画像処理ユニットに接続され、信号を処理して欠陥を検出します。検査データは内部データベースに保存され、ユーザーはボタンを押すだけで保存された検査データを呼び出すことができます。TENCOR SCD-XTアセットには、基本的なInspector Suitesから堅牢なVision Studio Suitesまでのフルスイートのソフトウェアが含まれており、ユーザーは工場内の任意のモデルで画像を検査できます。SCD-XTには、ユーザーが特定のアプリケーションのニーズに合わせて機器をカスタマイズできる多数の機能があります。システムは振動なしの点検を提供する花こう岩の安定した構造の技術と利用できます。これにより、本番環境でも高精度な検査を行うことができます。また、さまざまな空間フィルタリング技術を提供し、ユーザーは画像データをリアルタイムで分析することができます。また、拡張機能のために検出ヘッドを追加することもできます。KLA/TENCOR SCD-XT機械は信頼でき、使いやすいように設計されています。直感的なソフトウェアインターフェイスにより、ユーザーは簡単に検査をすばやくナビゲートして設定できます。このツールは高度にカスタマイズ可能で、ユーザーは特定のニーズに合わせてアセットをカスタマイズし、さらに追加のコンポーネントを追加してモデルの機能を向上させることもできます。全体的に、KLA SCD-XTは、直径450mmまでのフォトマスクとウェーハを正確に検査できる信頼性の高い強力な機器です。ブライトフィールド照明、パターンベース照明、その他多くの機能を利用して、ミクロンの10分の1程度の欠陥を正確に検出します。このユニットは、高度にカスタマイズ可能で直感的に使用できるため、ユーザーは検査を迅速かつ簡単に設定し、保存されたデータをリコールすることができます。