中古 KLA / TENCOR SCD-XT #9220981 を販売中

KLA/TENCOR SCD-XTは、半導体材料の分析にイメージングおよび計測技術を活用したマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、接触幅、サイズ、オーバーレイ精度などの形状に関する正確かつ再現可能な測定データを提供することにより、プロセス制御を強化し、サイクル時間を短縮するように設計されています。KLA SCD-XTは、イメージング技術と計測技術を組み合わせた高精度な検査装置です。機械の中心には、試料表面の高解像度画像を提供する電界放射走査電子顕微鏡（FE-SEM）があります。この画像は、さまざまなアルゴリズムを使用して接触幅やビアサイズなどのジオメトリ値を計算する計測ソフトウェアによって解析されます。このツールは、レーザー干渉計や色相共焦点顕微鏡などのさまざまなイメージングオプションも提供しており、構造/表面特性についてさらに洞察を提供します。TENCOR SCD-XTはまた、幾何学を測定する際のさらなる精度のための自動測定ツールの配列を提供しています。これらのツールには、画像対応のステッチとマスクアライメント、ブラインドフィッティングオーバーレイアルゴリズム、および誤った欠陥を最小限に抑えて歩留まりを最適化するプロセス歩留まり解析が含まれます。この機能により、プロセスの問題を迅速かつ正確に特定して対処できるため、デバイスのパフォーマンスが向上し、サイクルタイムが短縮されます。SCD-XTは直感的でユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスも提供しています。このアセットは、高度な画像解析機能、自動化と最適化、標準レシピの大規模なライブラリなど、ユーザーフレンドリーな機能を提供します。さらに、このモデルは完全にカスタマイズ可能で、機器の性能と分析機能を拡張するためのさまざまなプラグインオプションを提供しているため、すべての検査ニーズに最適なソリューションです。結論として、KLA/TENCOR SCD-XTは、信頼性と再現性の高い結果を提供するために、最新のイメージングと計測技術を組み合わせた特殊な検査システムです。高精度の測定、自動測定ツール、直感的なユーザーインターフェイス、さまざまなカスタマイズオプションを提供します。これにより、KLA SCD-XTは信頼性が高く、正確で費用対効果の高い検査ユニットを探しているユーザーにとって理想的な選択肢となります。