中古 KLA / TENCOR SCD-XT #293766657 を販売中

KLA/TENCOR SCD-XTは、電子機器製造の生産段階での品質管理を確保するために特別に設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。高解像度の臨界寸法（CD）および抵抗測定を活用して、マスクおよびウェーハ技術の両方のプロセス異常を検出します。このシステムは、プログラマブルなリアルタイムユニット（PRT）と自動検査ソフトウェアを組み合わせています。この機械には、1。2ナノメートル分解能エンコーダ、精密光学、および指定された場所での検査のためにマスクとウエハーパネルを自動的に配置する検査段階を備えたPRTツールが設置されています。これは、2次元のヘッド位置決めアセットを使用して実現され、クアドラントをマッピングして試験片の正確な位置決めと向きを検査することができます。さらに、レーザーダイオード照明装置は、ステージ全体に均一なバックライト照明を提供し、欠陥検出を強化します。このモデルは、高度なマルチセンサー検査技術とデータ収集機器ソフトウェアを使用して、マスクとウェーハを同時に検査し、潜在的な（見えない）欠陥位置に関する詳細なレポートを提供します。このレポートは、不注意に追加または処理中に欠落した可能性のある不良パターンを診断するのに役立ちます。マスク検査ツールとウェーハ検査ツールは、KLA SCD-XTシステムの主要な機能コンポーネントの2つです。マスク検査ツールは、欠陥を検出し、プロセスの安定性を監視し、フォトマスクの異常を特定するために使用されます。マスクレベルでのエアギャップ、ライン幅、ライン長などを測定します。ウェーハ検査ツールは、トップサーフェスラインのオープン/ショート、バックサーフェスオープン/ショートなどの抵抗欠陥を検出およびローカライズするために使用されます。自動化されたルーチンを使用して、ガイドライン検証や統計分析に加えて、処理中の異常を検出します。ウェーハ検査ツールでは、パッドエリアパターンの極性と配線数も決定し、フレキシブルな配線配線設定が可能です。TENCOR SCD-XTシステムは、テスト結果の設計と分析を容易にするための洗練されたユーザーインターフェイスを備えています。高度なデータロギング機能を使用してデータにアクセスできます。欠陥ライブラリや歩留まり解析などのユーザーフレンドリーな分析ツールがユニットに統合されているため、データに簡単にアクセスでき、詳細な理解が可能です。SCD-XTマシンは、品質、信頼性、安全性を重視した環境を確保しながら、マスクとウェーハの生産に高精度で柔軟かつ費用対効果の高いソリューションを提供します。全体の生産率に影響を与える複雑な問題を解決することができ、品質管理と信頼性試験に必要なツールを提供します。