中古 KLA / TENCOR SCD 100 #9042769 を販売中

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ID: 9042769
Film thickness measurement system, 8" and 12" Model: Spectra FX 100 GEN4 SWE Software version: 4.9 Stress option CD option 2005 vintage.
KLA/TENCOR SCD 100は、業界をリードするマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体デバイス検査の精度と速度を向上させるために設計されています。このシステムには、高解像度の光学検査システムを備えた2台のカメラが搭載されており、ウェハ検査とマスク検査の両方が可能です。また、均一な光のカバレッジを得るための自動照明ユニットを備えています。ウエハインスペクションカメラは50MP分解能で、非常に詳細なイメージング機能を備えています。高精度の3次元ウエハ検査装置を搭載しており、わずかな欠陥でも検出精度を発揮します。また、工具の安定性を確保し、熱サイクル時間を短縮するための熱管理機があります。さらに、KLA SCD 100はIndustry 4。0に準拠しており、他の生産機械と通信して効率的なデータ交換と生産プロセスの調整を行うことができます。マスク検査の面では、TENCOR SCD 100は10MPの解像度で画像を生成することができます。このアセットには、コントラストの高い欠陥検出アルゴリズムがあり、均一な背景と不均一な背景の両方で画像を分析することができます。さらに、このモデルは、マスク要素の最も小さなエラーを検出するための洗練されたアルゴリズムを備えています。また、検証および再検証の目的にも使用でき、最終製品の精度管理を容易にすることができます。さらに、SCD 100には、堅牢な欠陥分類機能があります。ブライトフィールド技術を使用して、画像のさまざまな種類の欠陥を区別することができます。また、フーリエ解析やパターン認識技術を活用してパターンを特定し、様々な欠陥を識別することができます。さらに、XML、 JSON、 PDFなど複数の形式でデータを出力できるため、データ分析が容易です。最後に、KLA/TENCOR SCD 100は使いやすさを念頭に設計されています。これは、ユニットにアクセスして制御することが容易になり、グラフィカルユーザーインターフェイスを持っています。また、21。5インチの大型ディスプレイを搭載し、各種情報の位置決め、検査、確認が容易に行えます。また、30度の傾斜可能な作業台を備えており、快適な作業角度を可能にします。さらに、このツールは信頼性が高く、メンテナンスを最小限に抑える必要があるため、長期運用に最適です。
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