中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9206058 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300は、高度な半導体製造のために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学イメージングユニットと高度な計測機を組み合わせた高解像度システムです。ウエハレベルおよびダイレベル検査が可能で、さまざまな基板上の幅広い欠陥を検出することができます。光学イメージングツールは、高解像度CCDカメラと強力なスペクトルイメージングアセットで構成されています。CCDカメラは、シリコン、金属、ポリマーなどの異なる基板の正確なイメージングを可能にします。光学イメージングモデルは、破片、粒子、線幅偏差に囲まれた傷、傷などのさまざまな欠陥を検出することができます。計測の面では、KLA INS 3300は自動ポイントソースアライメント装置を使用して、線幅、オーバーレイ、感度などの重要なパラメータを正確かつ迅速に測定します。このシステムは、非破壊深度プロファイル測定、透過率測定、臨界寸法測定にも使用できます。このユニットには、ウェーハおよびダイのレベル欠陥の自動検査を可能にする高度なソフトウェアパッケージも装備されています。このソフトウェアは、線幅のばらつき、粒子や破片、オーバーレイエラーなどの欠陥を検出することができます。また、ラインエッジプロファイリングおよびサイドウォール角度測定によりブリッジ欠陥を検出することもできます。全体として、TENCOR INS 3300は最新の半導体製造用に設計された高度なマスクおよびウェハ検査機です。光学イメージングと計測システムの組み合わせにより、デバイス検査において比類のないレベルの精度と精度を提供します。さらに、堅牢なソフトウェアパッケージにより、自動欠陥検出が可能になり、すべての基板タイプから最高の歩留まりを保証します。