中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX INS 3300 #9098958 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX INS 3300は、プリント回路の欠陥（ラインの欠陥、ショート、開口部、フィデューシャルの欠陥など）を効率的に検査するために設計された高度なマスクおよびウェーハ検査システムです。2Dと3Dの両方の検査機能を提供し、欠陥を特定して除去する強力なイメージング機能をユーザーに提供します。このシステムは、パターン認識、キャリブレーション、計測、検査などの革新的なイメージング技術に基づいています。各画像は、プリント回路に関する光学条件、欠陥サイズ、パターン、位置、その他の関連情報など、多くの属性をキャプチャします。この情報は、潜在的な欠陥を正確に検出するために使用されます。KLA INS 3300は、1つのゴーで複数のレイヤーをキャプチャ、検索、測定することができます。レイアウト送信イメージとユーザー定義のWQJ（ウェーハ品質ジョイント）マップの自動作成を提供します。ライングレーニング、トレース/スペース精度、ダイアライメントなど、さまざまなオプションが用意されています。さらに、ADCD （Automatic Detection of Critical Dimensions）機能により、複数の基板やレイヤーにまたがる寸法を自動スクリーニングできます。TENCOR INS 3300は、ハイスループットの自動クラスタ検査ステーションを備えています。Ethernet接続をクラスタ内のあらゆるデバイスに統合し、高速な画像転送とデータマッピングを実現します。また、マスク交換時間を最適化し、運用コストを削減します。さらに、生産検査システムは、検査および試験プロセスを合理化するように設計されています。迅速な欠陥検査を実現し、高い歩留まりと検査結果の精度を向上させます。また、フォルトの自動分離と特性評価を可能にし、メーカーは故障の根本原因を正確に特定し、迅速に解決することができます。結論として、PROMETRIX INS 3300はマスクおよびウェーハ検査アプリケーションに最適です。正確な欠陥検出を提供しながら、検査を簡素化し、スピードアップします。革新的な機能と高スループット機能により、最新の半導体製造ラインに最適なソリューションです。