中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX Candela CS920 #9362640 を販売中
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販売された
ID: 9362640
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2015
Inspection system, 6"-8"
Includes 4" chuck for 100mm conversion
Dual laser: Normal and oblique
Measure opaque material with peek chuck
Measure transparent materials with ring chuck
Wafer to chamber
Chamber to cassette
Flow box
Wafer ID reader
SIC
Standard wafer
Light tower: Red, orange, green, blue
Operating system: Windows Server 2008 R2 (64 Bit)
CE Marked
2015 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Candela CS920は、半導体メーカー向けに設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA計測および検査機能の統合により、KLA Candela CS920効率的で信頼性の高いウェハテストシステムになります。CS920は、製造メーカーがウェーハの状態を正確に評価することを可能にする多くの高度な技術を備えています。高解像度イメージング、複数のカメラ、さまざまな検出器を使用して、従来の方法に比べてパフォーマンスを向上させます。また、画質の向上と高い再現性を実現し、正確で信頼性の高い結果をウェーハ状態評価に提供します。このCS920は、試験対象のウェーハと材料タイプに対応した最大3つの計測ツールをサポートし、正確な分析を可能にします。また、1D、 2D、 3D計測にも対応しており、製造メーカーはウェーハ内部の特徴を3次元精度で正確に測定することができます。追加の自動化および手動機能により、異なるウエハプロセスに対して反復可能な結果が得られます。このマシンには多数の柔軟性オプションがあり、ユーザーはウェーハの分析を仕様に合わせて調整することができます。これには、調整可能なスキャン速度、ノイズ低減アルゴリズム、および背景の減算が含まれます。また、SEM、 FTIR、 EDXなどの多くのツールとのインタフェースを可能にする複数のソフトウェア統合オプションも備えています。このCS920は、最大の効率と少ない工具ダウンタイムを実現するように設計されています。直感的なソフトウェアインターフェイスと人間工学に基づいた設計により、オペレータは迅速かつ正確にウェーハを評価できます。それに小さい足跡があり、時間およびお金を救う生産ラインに容易に統合することができます。結論として、TENCOR Candela CS920は多目的で効率的なウェーハテストと計測資産です。高精度、再現性、解像度を提供し、幅広いウエハプロセスに適しています。直感的な設計と小規模なフットプリントにより、生産ラインへの統合が容易になり、時間とコストの両方を節約できます。
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