中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9153008 を販売中

KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP
ID: 9153008
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XPは、フォトマスクおよびウェーハの重要なパターン欠陥を検査するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。最先端の電子ビーム(e-beam)検査技術を利用して、デバイスの画像を解析し、ナノメートルスケールの欠陥を特定します。ユニットは、他の可能性のあるエラーの中で不足しているライン、短絡、開回路、アンダーカット機能、および線幅のerrosを検出することができます。KLA 2138 XPは、eビームデバイス、イメージング、分析の3つの主要コンポーネントで構成されています。電子ビームデバイスは、デバイスの表面をスキャンし、その表面の画像を生成するための責任があります。その後、イメージングマシンはこれらの電子ビーム画像を取り込み、高度なアルゴリズムを使用してデバイスの欠陥を特定して分析します。分析ツールは分析結果を取得し、さまざまな高度なアルゴリズムを適用して、欠陥の場所、サイズ、カテゴリを決定します。この分析はすべてリアルタイムで行われ、可能性のある欠陥が検出され、正確に分析されるようにします。TENCOR 2138 XPは、大きな高精度の電子ビームを使用して、デバイスをさまざまな角度と距離でスキャンし、完全なカバレッジを確保します。これにより、高度なアルゴリズムを使用して欠陥を解析するためのより正確な画像を得ることができます。0。2ミクロンの表面をスキャンすることができ、可能な限りの欠陥を検出して分析することができます。画像資産は、デバイスの画像をキャプチャし、有用なデータポイントにこれらの画像を変換するために、その高解像度カメラを利用します。分析モデルは、これらのデータポイントを取得し、発見された欠陥のサイズと場所を決定するために、さまざまなアルゴリズムを適用します。また、重複領域を検出して区別することができ、欠陥を特定する際の精度を向上させることができます。また、アナリティクス機器を使用すると、欠陥のサイズや形状などのカスタムパラメータを設定することで、より正確な結果を得ることができます。PROMETRIX 2138 XPは、信頼性が高く、効率的で正確なマスクおよびウェハ検査システムであるように設計されています。高度な電子ビーム検査技術と高度な分析ユニットを使用して、正確な欠陥分析と検出を保証します。高度な分析機能により、非常に小さな表面でも信頼性の高い結果を得ることができ、ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより操作が容易になります。最後に、そのモジュラー設計は、ユーザーが簡単にアップグレードし、特定のアプリケーションのためにマシンをカスタマイズすることができます。
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