中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9004619 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XPは、最も厳しい重要なアプリケーション向けに設計されたハイエンドマスクおよびウェーハ検査装置です。優れた光学、機械設計、エレクトロニクス設計により、より高いスループット、より良い解像度、より包括的なウェーハ解析を提供します。このシステムは、半導体業界の厳しい製造要件を満たすように設計されており、最も困難なマスクやマイクロエレクトロニクスデバイスを検査するための理想的なソリューションです。KLA 2138 XPは、詳細な粒子分析と高速性能の両方を可能にするハイブリッド光機械式ユニットを備えています。光学機械は異なった方向入力およびfullfilmおよびサブミクロンイメージングの技術からの光を送信し、反射する二クロミラーから成っています。このミラーは、ウェーハの前面と背面の両方から光を取り込むことができ、欠陥の正確な3次元画像を可能にします。また、最も暗い欠陥を強調し、画像で識別しやすくします。TENCOR 2138 XPの機械的アーキテクチャは、大小両方の領域を迅速かつ正確に検査するように設計されています。高いスループット能力と高度な制御により、マスクや回路の重大な欠陥を大量に補正するのに適しています。感度が高く、高感度領域は最大8。5 µm、広範囲で最大15 µmです。全体として、1時間あたり最大1,000個のウェーハを検査でき、他のシステムよりも優れた効率性を発揮します。また、最新の高解像度電子イメージング技術を統合して、最も微細な欠陥を検出します。電子イメージング資産は、光学機械検査モデルとシームレスに統合され、広範な視野、高い検出精度、および幅広い有用な分析機能を提供します。全体として、2138 XPは、半導体業界において優れたマスクおよびウェーハ検査機能を提供します。最先端の光学、機械、電子イメージング技術は、速度、精度、信頼性を提供し、今日最も複雑なマイクロエレクトロニクスデバイスの検査に最適です。