中古 KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #121998 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XPは、半導体デバイスの製造を容易にするように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、デバイスの最高品質を保証するために、複数のマスクとウェーハにわたる重大な欠陥を検出することができます。このユニットには、高性能カメラ、4チャンネルレーザー回折技術、統合されたパターン認識およびイメージングプローブが含まれています。KLA 2138 XPには、正確なマスクおよびウェーハ検査に必要な柔軟性と精度を提供する包括的なソフトウェアスイートも付属しています。TENCOR 2138 XPは、単一のカメラヘッドを使用して、マスクとウェーハの両方の画像をキャプチャします。カメラヘッドは、検査されたサンプルの倍率に自動的に調整するデジタルイメージセンサーと光学系で構成されています。これにより、小さな機能の高解像度化と、より大きな機能の低倍率の両方が可能になります。高解像度の画像により、ユーザーは比類のない精度でナノスケールの特徴を検査することができます。機械で使用される4チャネルのレーザー回折技術は特別な検出の感受性を提供します。4チャンネルレーザー回折は、複数のレーザービームを使用してマスクとウェーハの微細な欠陥を検出することによって機能します。このツールは、複数のレーザービーム画像を一緒に処理し、単一のビーム資産よりもはるかに高い感度をもたらします。2138 XPのパワフルなパターン認識機能により、重要な欠陥と非重要な欠陥を簡単に識別および識別できます。さらに、装置と統合された高度なイメージングプローブは、幅広いイメージング機能を提供します。これらの機能には、バックサイドイメージング、表面テクスチャ分析、リバーストーン検査が含まれます。PROMETRIX 2138 XPのイメージングプローブは、表面の質感と裏面パターンの品質を非常に正確に分析します。KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XPには、さまざまなマスクおよびウェーハ検査タスク用の強力で柔軟なツールを含む包括的なソフトウェアスイートも含まれています。このソフトウェアは、欠陥検出と分類、自動マスク登録、欠陥分類などのツールを提供しています。さらに、このソフトウェアは、ユーザーが簡単にシステムの複雑さをナビゲートすることを可能にするユーザーフレンドリーなメニューとインターフェイスを提供します。KLA 2138 XPは、マスクやウェーハの欠陥検出精度とカバレッジの最高レベルを提供します。高解像度カメラ、4チャンネルレーザー回折技術、統合パターン認識およびイメージングプローブ、包括的なソフトウェアスイートと組み合わせることで、ユーザーは半導体デバイスの最高レベルの品質を保証するために必要なツールを提供します。