中古 KLA / TENCOR P30 #293640029 を販売中

KLA/TENCOR P30は、ウェーハおよびマスクプレートを柔軟かつ正確に検査できるように設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。完全に自動化されたウェーハステージング、ウェーハセグメンテーション、およびマスク登録を組み合わせてクラス最高の検査性能を実現するKLA P30は、製造メーカーがあらゆる高さまたは幅で20ナノメートルのパターンを正確に識別することを可能にします。TENCOR P30は、ウェーハ検査用に自動ウェーハステージングエンクロージャ（AWS）、ウェーハセグメンテーション、ウェーハレジストレーションを搭載し、検査システムに対するウェーハの正確なアライメントを実現しています。AWSにより、各ウェーハが正確に配置され、検査の準備ができます。一方、ウェーハセグメンテーションにより、ウェーハの迅速な分析が可能になり、ユーザーの生産コストが削減されます。ウェーハ登録は、本質的にウェーハの特徴を検査ユニットにマッピングし、特定の特徴を正確に識別することができます。P30はまた、先進的なマスクの欠陥を迅速に検出し、これらの欠陥のサイズと位置を追跡するように設計された業界をリードするマスク検査機（MIS）も備えています。この堅牢なMISにより、複数のモードと光の波長を使用して、ブランクとパターンの両方のマスクを正確に検査できます。このツールは、明るいフィールド、暗いフィールド、偏光、干渉技術など、最も微妙な欠陥を識別するためのさまざまな照明技術をサポートしています。KLA/TENCOR P30では、画像マージ解析を使用してオンザフライ処理を可能にし、画像の前後の比較を最小限の待ち時間で迅速に行うことができます。最後に、KLA P30のレポートツールにより、ウェーハとマスクの両方の検査で効率的な欠陥解析レポートを作成できます。特に、自動テストレポートジェネレータは、適用可能なすべてのテスト、サンプルデータ、および結果をわずか数秒で詳細にカスタマイズ可能なレポートを作成できます。さらに、レポートはHTMLとPDFの両方のフォーマットで提供され、他のドキュメントに簡単にアクセスして含めることができます。TENCOR P30は、信頼性の高い結果、迅速な分析、トータルトレーサビリティを1つのパッケージで提供できる強力なツールです。ウェーハやマスクの検査にかかわらず、P30は品質保証プロセスを再定義し、正確性を確保するための優れた欠陥管理機能を提供します。