中古 KLA / TENCOR MRW 200 #9083812 を販売中
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KLA/TENCOR MRW 200は、マスクおよびウェハ検査アプリケーションに優れた性能を提供する高度な機能を備えたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは最先端の光学系およびハードウェア構成を提供し、迅速で正確で信頼性の高い欠陥検出を提供します。最大5ミクロンのフルカラー高解像度でウェーハ欠陥サンプルを検査することができ、幅広い検査作業でより迅速かつ正確な結果を得ることができます。このユニットには、従来の検査顕微鏡では見えない欠陥を正確に識別する高度なラベルフリー検出方法が装備されています。この機械の高解像度画像キャプチャおよび解析機能により、オペレータはウェーハ表面の欠陥をより適切に分類することができます。KLA MRW 200は、プログラマブルで空間的な高度なウエハ検査カメラ、高解像度レーザー自動焦点アセット、高速スキャンモータ、高速で高精度なダイカストイメージキャプチャおよび検査エンジンを組み合わせた統合ツールです。この組み合わせは、非常に正確な欠陥検出と分類を提供します。モデルの光学系は、高解像度、高速画像キャプチャ機能を備え、優れた安定性と性能を備えています。スキャナにはDMDライトエンジンが装備されており、より良い照明とイメージングのための波長の調整可能な範囲を提供します。装置に電力を供給する高速モータにより、部分的または全面的な検査を同時に行うことができ、大きなウェハサンプルの欠陥検査を迅速に行うことができます。カメラにはデュアルチャネルCCDシステムが搭載されており、優れた画質と解像度を実現しています。さらに、柔軟な画像解析、欠陥のイメージベース分類、全面欠陥検出が可能です。TENCOR MRW 200は、複数の異なる動作モードを備えているため、さまざまな検査タスクを迅速かつ簡単に実行できます。これには、フルフィールド、高速、パーシャルフィールド、相対的に強化された検査が含まれ、オペレータは特定の目的に最適な設定を選択できます。要するに、MRW 200は、さまざまなアプリケーションに優れた性能を提供する強力で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査機です。高度な光学系とハードウェア構成により、正確で信頼性の高い欠陥検出が可能です。また、堅牢でプログラマブルな設計により、さまざまな検査タスクを迅速かつ正確に実行できます。
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