中古 KLA / TENCOR MPV-CD #9093155 を販売中

KLA/TENCOR MPV-CDは、半導体製造業向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。モジュール構造として設計されており、複数のサブシステムから構成されており、半導体マスクとウェーハの検査のための自動システムを提供するために、すべてが一緒に動作するように設計されています。これらのサブシステムには、自動ステージ、イメージングユニット、ロボットローダー、カメラマシンが含まれます。自動化されたステージは、イメージングシステム上のウェーハとマスクの移動を容易にする責任があります。精度と精度を念頭に置いて構築されているため、ユーザーは簡単にウェーハやマスクをイメージング用に配置することができます。これにより、最終的な画像がシャープで高品質であることが保証されます。イメージングツールは、冷却されたCCDアレイカメラで構成され、ウェーハまたはマスクの高解像度画像を提供します。さらに、イメージング資産にはズームレンズが装備されており、手動で介入することなく画像のサイズと解像度を調整することができます。ロボットローダーは、ウェーハまたはマスクをあるモデルから別のモデルに移動するように設計されています。ロボットローダーは、制御された速度でウェーハまたはマスクを移動することができ、複数のウェーハやマスクを転送するのに理想的です。さらに、ウェーハまたはマスクが正しくロードされ、画像転送が正常に完了することを保証するセンシングおよびタイマー装置が装備されています。カメラシステムは、ウェーハまたはマスクの画像をキャプチャし、イメージングユニットに転送する責任があります。カメラマシンは最高の精度で構築されており、撮影した画像が最高品質であることを保証します。さらに、カメラツールには自動焦点アセットが装備されており、画像が画像モデルに焦点を合わせることができます。画像がキャプチャされると、処理のための画像処理装置に送信されます。画像処理システムは、欠陥、汚染、異常、さらにはダイシェイプなどのさまざまな機能を検出して測定するように設計されています。最後に、ユニットは制御マシンを使用して、各サブシステムが同期され、効率的に実行されることを保証します。この制御ツールはシームレスな操作を可能にし、タスクを迅速かつ効率的に完了させることができます。KLA MPV-CDは、半導体製造業界に自動ソリューションを提供するために設計された最先端の資産です。半導体マスクやウェーハの効率的な検査を可能にする複数のサブシステムを備えており、半導体製造設備に最適なソリューションを提供します。