中古 KLA / TENCOR KLA2810 #9241188 を販売中
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KLA/TENCOR KLA2810は、集積回路(IC)製品の欠陥を検出するために使用されるKLAが開発したマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、高度な画像キャプチャおよび分析技術と革新的な光学技術を組み合わせて、正確で再現可能な欠陥検査を提供します。KLA KLA2810は、TENCORの高度な「FastFoundry」アーキテクチャをベースにしており、短時間の検査サイクルで高いスループットを実現します。これにより、製造プロセスのエラーを迅速に検出し、下流の歩留まりを最適化することができます。TENCOR KLA2810は、0。1ミクロンから20ミクロン以上の解像度の範囲で、ウェーハ、マスク、フォトマスクなどのさまざまな基板サイズを検査できます。2K、 4K、 5Kピクセル解像度の統合高速カメラを搭載し、強力な画像処理プラットフォームを備えています。KLA2810のソフトウェアツールは、迅速かつ簡単な欠陥チューニングとフィルタリングを可能にします。これにより、さまざまな欠陥パターンを高精度で検出することができます。初期のマスク検査で見つかった一般的なパターンを見つけるために、体積測定、色、グレインノイズ、抵抗などの高度な欠陥検出アルゴリズムを使用することができます。さらに、KLA/TENCOR KLA2810は外部データソースおよび歩留まり管理システムとのインタフェースを可能にし、診断および解像度の間に生産パフォーマンスを迅速かつ効率的に分析できます。KLA/TENCORには欠陥分類オプションも用意されており、下流の再作業を減らすために欠陥の種類とソースを決定するのに役立ちます。要約すると、KLA KLA2810は強力で高速で正確なマスクおよびウェーハ検査アセットであり、メーカーが欠陥を迅速かつ正確に検出するのに役立ちます。高度な画像キャプチャと解析機能、高速サイクルタイム、高度な欠陥分類オプションにより、集積回路の欠陥問題に対処するための時間とコスト効率の高いソリューションを提供できます。
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