中古 KLA / TENCOR INS 3000 #9358651 を販売中

KLA/TENCOR INS 3000は、半導体業界向けに設計されたマスクおよびウェハ検査装置で、レビューを必要とするデバイスパターンやその他の詳細機能に関するデータを迅速に分析および収集します。このシステムは、光検査装置、画像取得機、画像・データ処理ツール、データ解析ソフトウェアパッケージの4つのサブシステムで構成されています。光学検査アセットは、集積回路パターンの上面を検査、分析、測定するために使用される対物レンズとデュアル波長レーザダイオードのセットで構成されています。赤外線レーザー波長は、解像度を向上させるために使用され、可視波長は、チップ表面上のパターンの精密なイメージングを提供します。画像取得モデルは、デバイスやパターンのデジタル画像を取得し、デジタル形式で保存します。高解像度イメージング装置は、パターンの詳細な画像をキャプチャして保存する高精度のために設計されています。画像処理とデータ処理システムは、分析と処理のために取得したデータを分析するために使用されます。このユニットには、通常、CPU、画像およびパターン認識システム、およびデジタル信号処理システムなどのハードウェアコンポーネントが含まれます。ソフトウェアパッケージには、アプリケーション固有のソフトウェアプログラムが含まれており、デバイスのパターンやその他の詳細な機能の高精度解析と表示が可能です。それは特定の条件に適するためにカスタマイズすることができるソフトウェアを含んでいます。ソフトウェアパッケージはまた、データ分析と統計のためのツールを提供します。KLA INS 3000は、マスクとウェーハ検査の統合環境を提供します。その汎用性の高い設計と高度な技術は、デバイスのパターンとデータを検査し、分析する際に高速かつ正確に提供します。半導体業界では、欠陥検出、デバイス特性評価、粒子検出、登録測定、計測など、幅広い用途で広く使用されています。