中古 KLA / TENCOR INS 3000 / 3300 #9195887 を販売中

KLA/TENCOR INS 3000/3300は、高度な性能と一貫性のためのゴールドスタンダードであるマスクおよびウェーハ検査用の自動化装置です。3Dフルフィールドイメージングサブシステムの強力な機能と、2Dウェーハおよび欠陥イメージングの柔軟性を組み合わせ、包括的な検査システムを提供します。KLA INS 3000/3300は、最新の高解像度イメージングおよび検査技術を使用して、マクロおよびマイクロスケールの両方で欠陥およびウェーハトポグラフィの高解像度画像をキャプチャします。これにより、マイクロエレクトロニクス部品を検査し、ウェーハ形状を制御する際の精度と精度が向上します。自動化されたウェーハスキャンは、高速CNC技術を使用して正確な測定と高スループットレートを保証します。3Dイメージングサブシステムは、ウェーハトポグラフィと欠陥位置の正確な3D再構築をキャプチャします。これは、KLA独自のウェーハアライメントユニットと組み合わせて、欠陥位置のサブミクロン精度を実現します。このマシンの画像データは、欠陥について詳細に調べられ、ライブラリの参照標準と比較されます。このツールは、大規模なウェーハ領域上の欠陥の顕微鏡レベルの分解能を可能にします。2D欠陥イメージング資産は、欠陥と関連する機能の両方について、ナノメートルレベルで高精度な評価を可能にします。このイメージングモデルは、10nmレベルをはるかに下回る検出レベルで、比類のない解像度と欠陥の可視性を実現します。TENCOR INS 3000/3300マスクおよびウェハ検査装置は、業界をリードするシステムの1つです。幅広いイメージングおよび欠陥検出機能により、優れた性能と精度をお客様に提供します。最高品質の結果を提供し、コストのかかる手動サンプリングと検査を排除します。それは多くの企業のR&Dそして大量の生産のための理想的な選択です。